谷志强
- 作品数:5 被引量:8H指数:1
- 供职机构:哈尔滨工业大学机电工程学院更多>>
- 发文基金:中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺理学电气工程更多>>
- 改普通电机为气浮电机的研究
- 2005年
- 介绍了超精密加工中主轴电机的振动及其对超精密加工的影响;在原有伺服电机的基础上设计并制作了气浮电机;用加速度传感器提取电机的振动信号,并用AD3525FFT频谱分析仪对电机的振动加速度信号进行了分析,测试出在电机转速为500r/min时普通伺服主轴电机和气浮主轴电机的振动和速度分别为0.436×10-4g和0.108×10-4g,用改造的气浮主轴伺服电机构成的超精密加工系统,加工KDP晶体的表面粗糙度达到了8nm。本项研究对提高超精密加工主轴系统精度具有一定的实用价值。
- 张景和谷志强王海峰张顺国龙剑任子书
- 关键词:电机振动超精密加工
- 真空吸附方式对KDP晶体加工精度的影响
- 本文在了解国内外大口径KDP(Potassinm Dihydengen Phosphate)晶体超精密加工现状的基础上,分析了真空吸附方式对KDP晶体加工精度的影响;用有限元方法计算了真空吸附方式对KDP晶体加工精度的影...
- 谷志强
- 关键词:KDP晶体有限元面形精度
- 文献传递
- 利用气浮均化技术提高测量基准精度的研究
- 2006年
- 提出了利用气浮均化技术提高测量基准的设想,依照气体静压理论设计了300mm×400mm气浮测量板;并作了两种检测方法的对比检测试验。该技术提高了测量基准精度,消除了测量过程中的摩擦力,可极大地提高超精密工件的检测精度。
- 张景和任子书王海峰张顺国龙剑谷志强
- 超精密加工技术的发展状况被引量:7
- 2006年
- 根据当前国内外超精密加工机床的发展状况,分析了影响超精密机床加工精度的各种因素,简要地介绍了温度、振动、洁净度等加工环境因素对超精密加工精度的影响,以及提高超精密加工精度应采取的措施。
- 张顺国谷志强龙剑张恩侨
- 关键词:超精密加工
- KDP晶体真空吸附方式对加工面形精度的影响
- 2009年
- 建立KDP晶体与真空吸盘间有限元接触模型,并利用该模型分析吸气孔和吸气槽真空吸盘对KDP晶体面形精度的影响,分析了不同直径的吸气孔真空吸盘对KDP晶体变形的影响.结果表明:增大真空吸盘的占空比,可以减小完全吸附所需的真空度.吸气孔的直径越小,表面的变形越小.研究还发现,采用吸气孔吸附方式比采用吸气槽吸附方式可以得到更理想的面形质量.该结论对提高KDP晶体面形精度有着重要指导意义.利用超精密机床采用真空孔吸附方式加工KDP晶体,加工出面形精度为1/2λ的表面.
- 王景贺郭晓云孟庆鑫王洪祥谷志强
- 关键词:KDP晶体面形精度