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任子书
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哈尔滨工业大学
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合作作者
龙剑
哈尔滨工业大学
谷志强
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张景和
哈尔滨工业大学
王海峰
哈尔滨工业大学
张顺国
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改普通电机为气浮电机的研究
2005年
介绍了超精密加工中主轴电机的振动及其对超精密加工的影响;在原有伺服电机的基础上设计并制作了气浮电机;用加速度传感器提取电机的振动信号,并用AD3525FFT频谱分析仪对电机的振动加速度信号进行了分析,测试出在电机转速为500r/min时普通伺服主轴电机和气浮主轴电机的振动和速度分别为0.436×10-4g和0.108×10-4g,用改造的气浮主轴伺服电机构成的超精密加工系统,加工KDP晶体的表面粗糙度达到了8nm。本项研究对提高超精密加工主轴系统精度具有一定的实用价值。
张景和
谷志强
王海峰
张顺国
龙剑
任子书
关键词:
电机
振动
超精密加工
利用气浮均化技术提高测量基准精度的研究
2006年
提出了利用气浮均化技术提高测量基准的设想,依照气体静压理论设计了300mm×400mm气浮测量板;并作了两种检测方法的对比检测试验。该技术提高了测量基准精度,消除了测量过程中的摩擦力,可极大地提高超精密工件的检测精度。
张景和
任子书
王海峰
张顺国
龙剑
谷志强
利用气浮均化技术提高测量基准精度的研究
本文在综合分析国内外直线度、平面度测量方法的基础上,分析了常规测量方法在测量“大型非球面光学零件超精密加工技术”项目中关键零件的局限性,提出了利用气浮均化技术提高测量基准精度,解决了测量中的摩擦问题。设计制作了气浮测量板...
任子书
关键词:
直线度
平面度
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