白雪飞
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：华北光电技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 红外探测器工艺用器皿清洗方法研究被引量：1
- 2016年
- 红外探测器材料一般为窄带系材料,在其制备工艺过程中,杂质离子更容易导致缺陷能级或表面快态复合中心,需选取较优的器皿清洗方法,对工艺用器皿所含金属离子进行评测控制。本文通过电感耦合等离子体质谱仪对比碲镉汞红外探测器工艺线上不同的器皿及清洗方法,对清洗后金属离子残留测试分析,获得较佳的器皿清洗方法,更好地保证红外探测器制备后性能。
- 孙浩宁提龚志红白雪飞王文燕
- 关键词：红外探测器金属离子
- 碲镉汞p型接触孔湿法腐蚀工艺研究被引量：1
- 2019年
- 针对碲镉汞芯片p型接触孔湿法腐蚀工艺进行研究,采用不同条件的湿法腐蚀工艺完成碲镉汞p型接触孔制备,通过扫描电子显微镜和激光扫描显微镜分析腐蚀后的接触孔表面形貌,电学接触性能通过伏安特性曲线表征。实验结果表明,传统湿法腐蚀工艺在碲镉汞芯片接触孔制备过程中存在钻蚀严重和均匀性不好等问题,针对以上问题提出了一种超声辅助湿法腐蚀工艺,制备出形貌及均匀性较好的p型接触孔。
- 陈慧卿白雪飞宁提胡尚正
- 关键词：碲镉汞湿法腐蚀
