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邵娜

作品数:1 被引量:12H指数:1
供职机构:南昌航空大学信息工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电极
  • 1篇电极结构
  • 1篇电容
  • 1篇电容式
  • 1篇压力传感器
  • 1篇微压
  • 1篇微压力传感器
  • 1篇力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇薄膜电容
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇南昌航空大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇军械工程学院

作者

  • 1篇江五贵
  • 1篇杨兴
  • 1篇史云胜
  • 1篇姚嘉林
  • 1篇邵娜

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2016
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于柔性电极结构的薄膜电容微压力传感器被引量:12
2016年
基于柔性电极结构,本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器,在阐述传感器工作原理的基础上,提出了两种设计思路,即基于柔性纳米薄膜的电容式微压力传感器和具有微结构的柔性电极薄膜电容式微压力传感器,并结合传感器的结构和柔性材料的加工特性,进一步提出了相应的力敏特性材料结构优化思路和加工流程,利用该流程得到了一种结构轻薄、工艺简单、高灵敏度的微压力传感器。经测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到218 f F/mm Hg,在智能穿戴和可植入压力检测等领域显示出较好的应用前景。
姚嘉林江五贵邵娜史云胜田佳丁杨兴
关键词:电容式压力传感器
共1页<1>
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