杨兴
- 作品数：95 被引量：91H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金全球变化研究国家重大科学研究计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 无模板交流电沉积法制备金纳米/微米线被引量：1
- 2011年
- 采用交流电沉积法,在预制备的铂电极对之间可以获得不同形貌的金纳米结构。通过控制实验条件,如交流电频率、电镀液浓度等,可沉积出直线型金纳米线。利用示波器监测电路电流控制电路的通断,可以使沉积出的金线接通电极对。通过TEM观察和伏安特性测试,使电沉积金线为单晶结构且具有较低的电阻率(7.8×10-7Ω.m),交流电沉积法生长金线在微/纳连接和生物/化学传感器中具有潜在的应用。
- 袁建国钟强周兆英杨兴
- 关键词：单晶
- 一种器件的表面防护方法
- 本发明提供了一种器件的表面防护方法，包括步骤：S20、在所述器件的外围形成第一保护层；S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层；其中，第一保护层和第二保护层中的一者为致密的纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体...
- 杨兴姚嘉林王曦梓高博航陈钰瑄
- 基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器被引量：4
- 2010年
- 利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米管阵列较整齐地悬于平行电极对之间,待将生长有纳米管的硅片粘在聚氯乙稀薄板上之后,再用激光技术切除掉贯通缝的连接部分,使作用于聚氯乙稀薄板上的力能够直接传递到单壁碳纳米管阵列。引出导线,完成此微纳力敏传感器件的制作。随后主要开展悬空单壁碳纳米管阵列应变传感方面的研究,获得了较高的压阻因子与线性度。结果表明这种制作方法具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳传感器件的制作提供新的思路。
- 唐一科郑富中周兆英杨兴吴英
- 关键词：化学气相沉积应变传感
- 流体驱动装置与驱动方法
- 本发明涉及一种流体驱动装置与驱动方法。流体驱动装置包括：管道组件，管道组件第一部分设有流入口，管道组件第三部分设有流出口；阀门组件包括第一阀门与第二阀门，第一阀门与第二阀门均与管道组件固定连接，第一阀门安装于管道组件第一...
- 杨兴徐立平贾炎燊王博
- 一种微型膜片式加速度传感器的本体及制造方法
- 本发明涉及一种微型膜片式加速度传感器的本体以及制备方法，该本体包括硅膜片和上盖、下盖，金电极和引线封装结构；其中在硅膜片上、下表面中心设置一圆形质量块；在硅膜片的周边有一凸起圆环，在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处设置两...
- 周兆英杨兴肖名飞
- 文献传递
- 微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)被引量：1
- 2002年
- 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.
- 周兆英杨兴熊继军
- 关键词：微米纳米技术
- 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法
- 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法，属于微机电系统和传感技术领域。为了增加隧穿间隙以降低制造和控制的难度、提高传感器灵敏度，本发明公开了一种共振隧穿微机械力传感器，主要结构由上、下两个硅片组成，上硅片下表面生长有隧穿阳极...
- 郭琳瑞叶雄英周兆英杨兴
- 文献传递
- 基于心脏泵血原理的机械式微泵
- 2023年
- 心脏作为动力源,其功能是驱动血液的单向流动,它具有结构简单、工作稳定可靠、异物处理能力强、无回流等优点。基于心脏泵血的原理,研制了一种新型的机械式微泵。该微泵由微型马达、硅胶软管、瓣膜阀及壳体组成,体积仅有0.6 cm^(3)。为了更深入地研究和测试微泵的性能,研制了基于高精度天平的流量测试系统和基于压力传感器的压强测试系统,并利用以上系统对微泵的体积流量、背压及待机状态下的反向截止压强进行了测试。实验结果表明:微泵的体积流量、背压与驱动电压呈正相关关系;在3 V直流电压驱动下,微泵的体积流量能够达到210μL/min,背压达到27.9 kPa,而功耗仅为180 mW;同时,在待机状态下微泵的反向截止压强可达55 111.7 Pa。该微泵在医疗仪器、生物医学、微流控、芯片冷却等领域具有广阔的应用前景。
- 徐立平李健杨兴
- 关键词：微泵心脏泵血压力传感器背压
- 一种基于微针的外部传输的电喷射装置
- 本实用新型涉及一种基于微针的外部传输的电喷射装置。该装置包括：至少1个微针，所述微针是前端细而末端粗的锥形，在微针的表面具有微纳结构，微纳结构由微针的储液位置贯通到微针的尖端；所述微纳结构为微纳沟槽结构或微纳突起结构；目...
- 尹鹏杨兴郑泉水董华来
- 文献传递
- 一种带有瓣膜结构的流体驱动装置及其应用
- 本发明公开了一种带有瓣膜结构的流体驱动装置，由进液口(1)、瓣膜(2)、驱动腔(3)、排液口(4)组成。其中，驱动腔与瓣膜形成一体或组合式腔室结构。驱动腔(3)由上部可变形的承压板(3.1)和下部的基板(3.2)组成，其...
- 杨兴丁磊王博姚嘉林郭兴起
- 文献传递
