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徐文武

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：汕头大学理学院更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇低温退火
  • 1篇射线衍射
  • 1篇退火
  • 1篇能谱
  • 1篇晶化
  • 1篇俄歇电子
  • 1篇俄歇电子能谱
  • 1篇非晶硅
  • 1篇X-射线
  • 1篇X-射线衍射

机构

  • 1篇汕头大学

作者

  • 1篇刘毅
  • 1篇王江涌
  • 1篇魏少巍
  • 1篇黄木香
  • 1篇陈仁武
  • 1篇徐文武

传媒

  • 1篇汕头大学学报...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铝诱导层交换的研究进展
2012年
铝诱导层交换是指铝-非晶硅双层膜经低温退火后,铝和非晶硅层的位置发生交换,导致在原来铝层的位置处形成一完整连续的多晶硅层.这一技术的应用将大幅度降低制备多晶硅薄膜的成本.本文针对近几年有关铝诱导层交换的研究进展,包括实验和理论研究两方面的进展,结合铝诱导层交换表征的一具体实例,对影响铝诱导交换的主要因素、层交换的动态过程及其机理作了一个综述.
刘毅黄木香徐文武陈仁武魏少巍王江涌
关键词：低温退火俄歇电子能谱X-射线衍射
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