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刘毅

作品数：12 被引量：12H指数：4
供职机构：汕头大学理学院物理系更多>>
发文基金：国家自然科学基金深圳市水务发展中长期战略研究项目更多>>
相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 6篇会议论文

领域

  • 7篇一般工业技术
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单值函数
  • 1篇低温退火
  • 1篇值函数
  • 1篇射线衍射
  • 1篇退火
  • 1篇能谱
  • 1篇响应函数
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇晶化
  • 1篇化学元素
  • 1篇函数
  • 1篇俄歇电子
  • 1篇俄歇电子能谱
  • 1篇非晶硅
  • 1篇分布函数
  • 1篇SIMS
  • 1篇X-射线
  • 1篇X-射线衍射
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇表面形貌

机构

  • 12篇汕头大学
  • 5篇深圳大学

作者

  • 12篇刘毅
  • 12篇王江涌
  • 1篇魏少巍
  • 1篇黄木香
  • 1篇陈仁武
  • 1篇叶伟斌
  • 1篇马春华
  • 1篇朱星星
  • 1篇徐文武

传媒

  • 3篇真空
  • 3篇汕头大学学报...
  • 2篇中国真空学会...
  • 1篇2012年广...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 7篇2012
  • 1篇2011
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的成分分布的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的...
刘毅王江涌
文献传递
溅射深度剖析的定量分析及其应用被引量：5
2012年
本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述。MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面的粗糙度(R),测量技术的信息深度(I)。通过考虑在溅射过程中发生的择优溅射效应,这一模型得以进一步完善。利用这一模型,可以定量分析深度剖析实验的深度分辨率,以及定量确定纳米薄膜中的互扩散系数。
刘毅王江涌
SIMS溅射深度剖析的定量分析被引量：4
2015年
本文综述了二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)溅射深度剖析的发展历史,介绍了SIMS溅射深度剖析的定量分析方法。对两个最常用于SIMS溅射深度剖析定量分析的理论模型——Hofmann提出的MRI(Mixing-Roughness-Information depth)模型和Dowsett等人提出的响应函数进行了对比分析。
康红利劳珏斌刘毅王江涌
关键词：SIMS响应函数
择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的成分分布的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上，引入了一个描述择优溅射效应的参数，推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的...
刘毅王江涌
铝诱导层交换的研究进展
2012年
铝诱导层交换是指铝-非晶硅双层膜经低温退火后,铝和非晶硅层的位置发生交换,导致在原来铝层的位置处形成一完整连续的多晶硅层.这一技术的应用将大幅度降低制备多晶硅薄膜的成本.本文针对近几年有关铝诱导层交换的研究进展,包括实验和理论研究两方面的进展,结合铝诱导层交换表征的一具体实例,对影响铝诱导交换的主要因素、层交换的动态过程及其机理作了一个综述.
刘毅黄木香徐文武陈仁武魏少巍王江涌
关键词：低温退火俄歇电子能谱X-射线衍射
择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响被引量：4
2013年
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的一个解析式,并定量地模拟了择优溅射效应在深度剖析中对深度剖面形状和深度分辨率的影响。最后,应用拓展的MRI模型,定量分析了Ar+和N2+溅射Ni/Cr多层膜所得到的AES深度剖析数据,比较了相应的择优溅射比率和深度分辨率。
刘毅王江涌
近表层元素成分分布的溅射深度剖析的定量分析
深度剖析是将离子溅射与表面元素成分表征结合在一起的一种测量分析技术，其主要目的是为了获得薄膜材料中元素成分的深度分布。在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,首先引入了一个考虑择优溅射效应的参量.再假设原子混...
刘毅王江涌
关键词：化学元素
溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展被引量：6
2016年
溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研究方兴未艾.本文首先回顾了深度剖析定量分析方法的发展过程,特别对其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及为满足高分辨率深度剖析数据的定量分析所进行的拓展进行了详细的论述.给出了利用深度剖析定量分析方法确定深度分辨率、超晶格及分子结构的重构、多层膜界面间粗糙度及薄膜中扩散系数的实例.
康红利简玮韩逸山刘毅王江涌
溅射深度剖析定量分析在纳米薄膜中的应用
在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,首先引入了一个新的参数用以考虑因择优溅射而引起的失真效应,并定量分析了有着明显择优溅射的Ta(7.5nm)/Si(10.5nm)多层膜的深度剖析谱.在此基础上,对利用三...
王江涌刘毅
规则表面形貌的表征
2014年
量子点与超晶格等有序结构呈现规则的表面形貌,它们的特性与表征表面粗糙度的参数密切相关.本文说明了如何利用单值周期函数对这些规则表面形貌进行模拟,并分析了其高度分布函数,以及给出了高度分布函数与单值函数导数变化的关系.
马春华刘毅黄云驰程鹤登韩逸山朱星星叶伟斌王江涌
关键词：表面粗糙度单值函数
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