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张毓捷
作品数:
2
被引量:11
H指数:2
供职机构:
华北光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
谢珩
华北光电技术研究所
王宪谋
华北光电技术研究所
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2篇
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电子电信
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红外
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机构
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华北光电技术...
作者
2篇
谢珩
2篇
张毓捷
1篇
王宪谋
传媒
2篇
激光与红外
年份
1篇
2013
1篇
2007
共
2
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超大规模红外器件混成互连的新设备与新方法
被引量:5
2013年
介绍了红外探测器与读出电路倒装互连工艺过程,详细对比倒装焊接机FC150和FC300的主要技术参数和功能,着重讨论了FC300新增加的自适应调平系统和干涉仪系统。回顾了法国LETI实验室应用自适应调平系统进行的2K×2K超大规模红外器件混成实验和干涉仪系统在超大规模红外器件倒装互连方面的应用。
谢珩
张毓捷
王宪谋
混合式长波线列TDI红外探测器改进互连工艺研究
被引量:6
2007年
根据目前混合式红外焦平面互连工艺以及对长波线列延时积分红外探测器产量增长的需求,结合现有的工艺设备能力,开发出"共片工艺",以最大限度地提高在互连工艺段的生产效率。
沈悦
谢珩
张毓捷
关键词:
长波红外探测器
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