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李彬
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西南大学材料与能源学部
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发文基金:
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
覃礼钊
西南大学材料与能源学部
廖斌
北京师范大学核科学与技术学院射...
梁宏
北京师范大学核科学与技术学院射...
李元
西南大学材料与能源学部
王浩琦
西南大学材料与能源学部
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年份
1篇
2017
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磁过滤阴极弧法制备CrCN薄膜结构与组分研究
被引量:2
2017年
目的通过磁过滤阴极弧沉积技术制备质量优异的CrCN涂层。研究乙炔/氮气混合气体流量以及基底偏压对薄膜结构和成分的影响。方法采用磁过滤真空阴极弧沉积技术,在20~100 m L/min变化的乙炔/氮气混合气体流量参数下沉积CrCN复合薄膜。通过X射线衍射、场发射电子显微镜、扫描探针显微镜、X射线光电子能谱仪、透射电镜,对薄膜的物相结构和形貌进行分析。结果随着气体流量的增加,CrCN复合薄膜的晶粒逐渐减小最终向非晶化转变。TEM结果表明,在CrCN复合薄膜中有大量几纳米到十几纳米的纳米晶浸没在非晶成分中。SPM表明,随着基底偏压由–200 V增大到–150 V,CrCN薄膜的表面粗糙度Sa由0.345 nm上升至4.38 nm。XPS、TEM和XRD数据表明,薄膜中Cr元素主要以单质Cr、Cr N以及Cr3C2的形式存在。结论采用磁过滤真空阴极弧沉积技术制备的CrCN复合薄膜具有纳米晶-非晶镶嵌结构。该方法沉积的CrCN薄膜的表面粗糙度与基底负偏压有关。混合气体的流量变化对薄膜组分的变化几乎无影响。
王浩琦
覃礼钊
官家建
李彬
林华
李元
梁宏
廖斌
关键词:
X射线光电子能谱
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