2024年12月18日
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郭啸
作品数:
3
被引量:5
H指数:2
供职机构:
南京电子器件研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
林罡
南京电子器件研究所
张磊
南京电子器件研究所
贾东铭
南京电子器件研究所
邹文静
南京电子器件研究所
贾洁
南京电子器件研究所
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林罡
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郭啸
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贾洁
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贾东铭
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张磊
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年份
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2018
1篇
2017
1篇
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用248nm光刻机制作150nm GaAs PHEMT器件性能及可靠性评估
2016年
介绍了基于光刻机的150 nm T型栅Ga As PHEMT工艺,其中重点介绍了使用的shrink关键工艺步骤。利用新工艺在某100 mm Ga As工艺线上进行流片,并通过直流测试、loadpull测试、微波小信号测试以及环境试验、极限电压测试、高温步进试验,获得新工艺下制作的Ga As PHEMT的各项性能指标及可靠性。最后制作得到的器件在性能和通过直接光刻得到的PHEMT在性能和可靠性上基本在一个水平上,但是想要通过shrink工艺得到线宽更细的栅长需要进一步努力。
郭啸
章军云
林罡
关键词:
砷化镓
赝配高电子迁移率晶体管
可靠性
T型栅
基于EMMI技术的GaAs多功能芯片的失效分析
被引量:2
2018年
GaAs多功能MMIC应用于微波毫米波整机系统,替代了以往多个单功能MMIC链接而成的方式,且技术愈发成熟。通过对GaAs多功能MMIC产品的失效分析,发现芯片工艺制程中的易发问题,以不断提升产品良率。借助EMMI (红外微光显微镜)技术,对一款GaAs多功能芯片某移相态不能恢复的故障现象进行分析,定位了失效点。结合微区结构分析在失效位置找出工艺缺陷,阐述了该缺陷造成芯片失效的过程和机理,并提出工艺制程改进方案。
周舟
林罡
于永洲
郭啸
贾洁
关键词:
GAAS
基于EMMI的GaAs数字电路失效分析方法及案例
被引量:3
2017年
介绍了基于EMMI的GaAs数字电路失效分析方法,并以一款24位串转并驱动器芯片输出端电平不能翻转的失效模式为案例,通过该方法找到了芯片互联层之间短路的故障。从该案例可以看出,基于EMMI的GaAs数字电路失效分析方法具有定位精确、高效快速的优点,可以为提升GaAs数字电路可靠性提供有力的技术支持,值得广泛应用。
郭啸
王创国
邹文静
张磊
林罡
贾东铭
关键词:
数字电路
砷化镓
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