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周明
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
兰州大学物理科学与技术学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王晓明
兰州大学物理科学与技术学院
谢二庆
兰州大学物理科学与技术学院
叶凡
兰州大学物理科学与技术学院
段辉高
兰州大学物理科学与技术学院
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1篇
2008
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氮氧化铪薄膜在不同衬底上的场发射性能
被引量:1
2008年
利用直流溅射法在Si、Zn、Ni三种不同衬底上沉积HfNxOy薄膜并测试了其场发射性能。扫描电子显微镜(SEM)显示HfNxOy薄膜表面由纳米颗粒组成,X射线衍射(XRD)说明薄膜中含有HfN和HfO2两种相。场发射测试结果显示,和金属衬底上的薄膜相比,Si衬底上的薄膜的开启电场小且发射电流密度大。文中对三种衬底上发射电流密度大小不同的原因进行了讨论。电流-时间的对应关系说明HfNxOy薄膜的场发射电流稳定。
王晓明
谢二庆
叶凡
段辉高
周明
关键词:
场致电子发射
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