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杜杰
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
任大海
清华大学机械工程学院精密仪器与...
阎梅芝
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尤政
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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2006
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静电微反射镜的发展与应用
被引量:2
2006年
本文从静电微反射镜结构、驱动方式、加工工艺等方面对目前静电微反射镜的原理和实现方法进行总结,分别讨论了它们的功能特点和应用方向,分析了不同应用领域的静电微反射镜的性能要求和结构方式,重点介绍了静电微反射镜在投影显示器和空间光通信等领域的应用,最后讨论了静电微反射镜在光学特性分析、驱动方式、工艺设计、动态特性和控制方法等方面的关键问题及发展方向。
任大海
杜杰
阎梅芝
尤政
关键词:
微光机电系统
角锥棱镜
衍射
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