阎梅芝
- 作品数：10 被引量：8H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 水平式隧穿磁强计的反馈控制系统设计
- 2005年
- 分析了水平式隧穿磁强计控制系统的原理和特点;给出了反馈控制系统传递函数方框图;求出了水平式隧穿磁强计的表头、隧道效应及梳齿静电驱动等框图的传递函数.采用二阶有源带通滤波的方式来减弱外界的噪声影响,经实验验证,降低了隧道间隙的变动量,使得隧道间隙从0.4～1.6nm减少到0.9～1.1nm,满足设计要求.
- 汤学华王晓路尤政阎梅芝
- 关键词：隧穿效应磁强计控制系统传递函数
- 谐振式MEMS磁强计原理与研究进展被引量：3
- 2007年
- 介绍了谐振式MEMS磁强计的基本原理、特点和应用领域,总结了目前谐振式磁强计方面的研究成果,给出了其技术指标和参数,分析、比较了垂直式和水平式两类谐振式MEMS磁强计的特点和优势。阐述了谐振式磁强计的驱动、信号检测及控制方式,分析了谐振式磁强计的发展趋势,指出通过合理的结构、工艺设计及提高检测精度来进一步提高器件的分辨力将是谐振式磁强计发展的主要方向。
- 任大海阎梅芝尤政
- 关键词：谐振微机电系统磁强计电容检测
- 扭摆型隧穿磁强计的设计方法研究被引量：2
- 2006年
- 本文提出了一种扭摆、谐振型隧穿式磁强计及其设计方法,它采用扭摆型线圈敏感被测磁场,结构易于加工且能够有效降低1/f噪声的影响。通过理论推导建立了扭摆和扭梁的力学模型,得出了磁强计灵敏度与扭梁刚度的关系,通过仿真说明了系统中各结构参数之间的关系,得到了隧穿式磁强计的设计原则,运用提出的设计流程和原则,进行了磁强计实例设计,在ANSYS下对此模型进行了固有频率和静态变形仿真,仿真结果与通过设计方法得出的值吻合较好,从而验证了模型的可靠性和方法的合理性。
- 阎梅芝董哲任大海尤政
- 关键词：隧穿磁强计硅尖
- 扭摆型谐振式磁强计及其激振与测控系统设计被引量：2
- 2007年
- 研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统,设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构,其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰.设计了L形梁来释放加工过程中的应力,推导了开环系统和闭环系统的传递函数,通过初步参数设计,对扭矩随线圈匝数的变化进行了仿真,并介绍了基于对被测信号进行调制和同步解调的电容检测原理.结果表明,该谐振式MEMS磁强计灵敏度和分辨率高,多匝线圈方案使器件灵敏度大幅度提高,10匝线圈时的扭矩是单匝线圈的8倍,磁强计分辨率优于30 nT.
- 任大海阎梅芝尤政
- 关键词：微机电系统谐振磁强计电容检测
- 谐振式MEMS磁强计研究
- 阎梅芝
- 关键词：磁强计谐振
- 一种扭摆式微型磁敏感器
- 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解...
- 任大海尤政武凌祺阎梅芝戴震宇
- 文献传递
- 水平式隧穿磁强计的反馈控制系统设计
- 分析了水平式隧穿磁强计控制系统的原理和特点;给出了反馈控制系统传递函数方框图;求出了水平式隧穿磁强计的表头、隧道效应及梳齿静电驱动等框图的传递函数。采用二阶有源带通滤波的方式来减弱外界的噪声影响,经实验验证,降低了隧道间...
- 汤学华王晓路尤政阎梅芝
- 关键词：隧穿效应磁强计控制系统传递函数
- 文献传递
- 静电微反射镜的发展与应用被引量：2
- 2006年
- 本文从静电微反射镜结构、驱动方式、加工工艺等方面对目前静电微反射镜的原理和实现方法进行总结,分别讨论了它们的功能特点和应用方向,分析了不同应用领域的静电微反射镜的性能要求和结构方式,重点介绍了静电微反射镜在投影显示器和空间光通信等领域的应用,最后讨论了静电微反射镜在光学特性分析、驱动方式、工艺设计、动态特性和控制方法等方面的关键问题及发展方向。
- 任大海杜杰阎梅芝尤政
- 关键词：微光机电系统角锥棱镜衍射
- 一种扭摆式微型磁敏感器
- 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解...
- 任大海尤政武凌祺阎梅芝戴震宇
- 文献传递
- 水平式隧穿磁强计的反馈控制系统设计
- 本文分析了水平式隧穿磁强计控制系统的原理和特点;给出了反馈控制系统传递函数方框图;求出了水平式隧穿磁强计的表头、隧道效应及梳齿静电驱动等框图的传递函数.采用二阶有源带通滤波的方式来减弱外界的噪声影响,经实验验证,降低了隧...
- 汤学华王晓路尤政阎梅芝
- 关键词：隧穿效应磁强计传递函数微型传感器
- 文献传递
