董国平
- 作品数:2 被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金:上海市青年科技启明星计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学更多>>
- 倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展被引量:2
- 2008年
- 倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜。雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景。
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- 关键词:各向异性
- 热处理对电子束蒸发TiO_2雕塑薄膜双折射性能的影响被引量:5
- 2009年
- 使用倾角电子束蒸发技术制备了TiO_2雕塑薄膜,通过对雕塑薄膜在不同退火温度和退火时间下进行热处理,发现热处理工艺可以优化薄膜的双折射特性和相位延迟性能。实验结果表明,TiO_2雕塑薄膜的最佳退火条件为500℃下处理4 h,其双折射值达0.115左右,远高于未处理时的最大双折射值(0.06)。椭偏仪测试结果表明,最优条件下热处理后的薄膜,在550 nm处相位延迟量达90°,可以作为该波长处的λ/4波片使用。因此,热退火是改善雕塑薄膜双折射性能的一种简单实用的方法。
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- 关键词:双折射相位延迟