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饶青
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
电子科技大学
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发文基金:
中国科学院“百人计划”
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相关领域:
电气工程
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合作作者
姚军
中国科学院光电技术研究所
张理
中国科学院光电技术研究所
钟洪声
电子科技大学
王大甲
中国科学院光电技术研究所
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2008
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高隔离度X波段RF MEMS电容式并联开关
被引量:1
2008年
研究了一种新型的、应用于X波段的高隔离度RF MEMS电容式并联开关结构。相比于普通的并联结构,该开关通过共面波导(CPW)传输线与地平面之间的衬底刻槽结构将隔离度提高了7dB,关态时在13.5GHz谐振频率处的隔离度为-54.6dB,执行电压为26V。弹簧梁结构开关的执行电压下降为14V,在11GHz处其隔离度为-42.8dB。通过两个并联开关级联与开关间的高阻传输线构成的π型调谐开关电路,在11.5GHz处的隔离度为-81.6dB。
张理
姚军
王大甲
饶青
钟洪声
关键词:
射频微机电系统
隔离度
X波段
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