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铁锰无磁合金粉的水雾化法生产工艺研究被引量：3: 2018年; 采用水雾化法制备铁锰无磁合金粉末,分析了合金粉末含锰质量分数和雾化工艺对铁锰合金粉末性能的影响规律。结果表明:水雾化法生产铁锰无磁合金粉的方案可行,但锰质量分数不宜低于24%;在实验工况条件下,雾化压力对松装密度的影响可以忽略不计,雾化压力提高使产品流动性变差,以15 MPa雾化压力进行生产时,产品工艺性能(松装密度、流动性)最好;雾化压力的提高有助于提高产品烧结密度,在满足产品流动性要求的前提下,可以考虑通过提高雾化压力来提高产品烧结密度。; 高莹顾毅吴艺辉李辉马春生赵全李丹; 关键词：水雾化法

陶瓷坩埚在水雾化法制造触媒合金粉中的应用研究: 2014年; 本文介绍了陶瓷坩埚在水雾化法制造合成人造金刚石用触媒合金粉末中的应用。通过和石墨坩埚的对比实验,结果表明:陶瓷坩埚做为中间包材质生产出的触媒合金粉,粉末粒度更细,粉末粘连少,合成出的金刚石单晶晶形完整,透明度好,为进一步提高金刚石的品位进行了实验摸索。; 李丹姜兴斌顾毅李辉蒋鑫马春生高莹周连科; 关键词：水雾化法粉末触媒

多孔石墨对碳化硅晶体生长影响的数值模拟研究: 2023年; SiC是新一代射频器件和功率器件的理想材料,电阻式物理气相传输法由于具有温度均匀性,成为生长大尺寸SiC单晶的有效方法。近年来,多孔石墨等的使用提高了SiC晶体的质量和产量,而关于其机理的研究却相对较少。本文使用数值模拟的方法系统研究了多孔石墨对SiC晶体生长的影响,并进行了晶体生长验证。模拟结果表明:多孔石墨的使用提高了原料区域的温度及温度均匀性,增大了坩埚内轴向温差,对减弱原料表层的重结晶也具有一定作用;在生长腔内,多孔石墨改善了物质流动在整个生长过程中的稳定性,提高了生长区域的C/Si比,有助于减小相变发生概率,同时多孔石墨对晶体界面也起到改善作用。晶体生长结果实际验证了多孔石墨在提高传质均匀性、降低相变发生率和改善晶体外形上的作用。本文结果对于理解多孔石墨的作用机理以及改善SiC晶体生长条件具有实际意义。; 李荣臻赵小玻魏华阳李丹周振翔倪代秦李勇李宏凯林清莲; 关键词：碳化硅多孔石墨数值模拟晶体生长电阻加热

物理气相传输法合成AlN单晶性能表征: 2023年; 采用物理气相传输(PVT)法通过同质外延生长获得14 mm×12 mm的AlN单晶样品。对样品进行切割、研磨、化学机械抛光处理后,采用拉曼光谱仪、高分辨X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、光致发光光谱仪对样品进行测试表征。拉曼测试结果表明,晶体中心区域的拉曼光谱E_(2)(high)声子模的半峰全宽为3.3 cm^(-1),边缘区域E_(2)(high)声子模的半峰全宽为4.3 cm^(-1),晶体呈现较高的结晶质量。XRD摇摆曲线表征结果显示,外延生长后的晶体中心和边缘区域的摇摆曲线半峰全宽增大至100″和205″,表明晶体内存在缺陷。XPS测试结果表明,晶体内存在C、O、Si杂质元素,杂质的原子数分数分别为0.74%、1.43%、2.14%,晶体内发现以氧杂质为主的Al—O、N—Al—O等特征峰。光致发光光谱测试结果显示,晶体内存在V_(Al)-O_(N)复合缺陷和V_(Al)点缺陷。; 周振翔陈宁李丹李丹倪代秦陈建荣倪代秦李荣臻陈建荣; 关键词：氮化铝

深紫外高透过石英晶体的生长和光学性能表征: 2023年; 照明系统是光刻机的重要组成部分,其主要功能是对激光光束进行扩束、整形和匀光。石英晶体x晶向具有本征双折射特点,以其原理制作的偏振装置可实现对光束偏振态的控制,配合离轴照明,能够进一步提高光刻机照明系统的分辨率和成像质量。受传统石英晶体生长工艺和晶体自范性限制,用于偏振装置的大口径石英波片(>ϕ50 mm)一直是石英晶体研究的难题。本文利用平行定向生长水热工艺,系统调整温度、压力、矿化剂种类和浓度、节流挡板开孔率等参数,成功合成了可用于193 nm波长的高透过率石英单晶,并加工出已知报道的最大尺寸ϕ160 mm石英波片坯料。实验过程中使用改进的框架籽晶法淘汰了可遗传腐蚀隧道缺陷,通过优化原料配比进一步降低Al^(3+)、Na^(+)等微量元素含量,控制升温曲线实现籽晶界面晶格匹配,从而淡化籽晶外延区域均匀性差异。对单晶样品进行微量元素含量、内透过率、双折射性能和光学均匀性表征,结果表明,石英晶体微量元素总含量控制在7×10^(-6)以内,内透过率达到99.80%/mm,双折射率差不均匀性低于0.0297%,ϕ140 mm有效通光口径内光学均匀性PV值达到3.9×10^(-6)。; 张绍锋曹艳翠张璇李丹胡潇刘巨澜姜秀丽; 关键词：石英晶体深紫外波片水热法

一种合成金刚石用合金触媒粉末的装备及工艺: 本发明公开了一种合成金刚石用合金触媒粉末的装备及工艺，所述装备包括依次连接的金属熔炼室、中间包、水气联合雾化喷盘、隔离阀、雾化室、泥浆泵、离心机和干燥机，金属熔炼室内设置熔炼炉，金属熔炼室内还包括水气联合喷盘，水气联合喷...; 高莹李辉吴艺辉赵全李丹; 文献传递

一种合成金刚石用合金触媒粉末的装备: 本实用新型公开了一种合成金刚石用合金触媒粉末的装备，所述装备包括依次连接的金属熔炼室、中间包、水气联合雾化喷盘、隔离阀、雾化室、泥浆泵、离心机和干燥机，金属熔炼室内设置熔炼炉，金属熔炼室内还包括水气联合喷盘，水气联合喷盘...; 高莹李辉吴艺辉赵全李丹; 文献传递

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李丹