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彭志

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：电气工程一般工业技术电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 2篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇溅射
  • 5篇靶材
  • 4篇高通量
  • 3篇镀膜
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇电池
  • 2篇蒸发
  • 2篇气压
  • 2篇腔内
  • 2篇锂离子
  • 2篇锂离子电池
  • 2篇离子
  • 2篇离子电池
  • 2篇刻蚀
  • 2篇基底
  • 2篇工作气压
  • 2篇分立
  • 2篇分散液
  • 2篇磁场

机构

  • 9篇电子科技大学

作者

  • 9篇向勇
  • 9篇闫宗楷
  • 9篇彭志
  • 6篇李响
  • 4篇李光
  • 3篇刘雯
  • 2篇张晓琨
  • 2篇徐子明
  • 2篇黄楷
  • 2篇费益
  • 1篇吴露

传媒

  • 1篇中国化学会第...

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 5篇2016
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种磁控溅射镀膜装置及方法、纳米颗粒的制备方法
本发明提供一种磁控溅射镀膜装置，包括同轴设置的圆筒状的磁钢装置、圆筒状的溅射阴极和圆筒状的靶材，圆筒状靶材设置在圆筒状溅射阴极内表面，磁钢装置设置在圆筒状溅射阴极外表面以在靶材内表面形成了一封闭磁场。本发明还提供一种磁控...
向勇闫宗楷李光费益刘雯彭志徐子明
文献传递
高通量组合材料芯片及其制备方法、制备装置
本发明涉及一种高通量组合材料芯片制备装置，其包括制备腔、伸入制备腔内原料输出装置、容置于制备腔内的蒸发模组，多个分立掩模以及一连续掩模；原料输出装置设置在蒸发模组及分立掩模/连续掩模之间；原料输出装置用于在所述原料输出装...
闫宗楷向勇彭志蒋赵联李响
文献传递
高通量组合材料芯片及其制备方法、制备装置
本发明涉及一种高通量组合材料芯片制备装置，其包括制备腔、伸入制备腔内原料输出装置、容置于制备腔内的蒸发模组，多个分立掩模以及一连续掩模；原料输出装置设置在蒸发模组及分立掩模/连续掩模之间；原料输出装置用于在所述原料输出装...
闫宗楷向勇彭志蒋赵联李响
一种磁控溅射倾斜沉积镀膜装置
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种磁控溅射倾斜沉积镀膜装置，包括溅射腔、腔门、手套箱和过渡腔。本发明通过多个可独立调节的伸缩支架，实现待渡基片的角度连续变化。再运用手套箱的配置，通过溅射腔、手套箱和过渡腔的两两连接，...
向勇刘雯闫宗楷彭志蒋赵联吴露
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一种磁控溅射装置及磁控溅射方法
本发明涉及一种磁控溅射装置，包括磁力发生机构、至少一靶材区与可旋转基底，所述靶材区固定至少一靶材，靶材中心与靶材区中心重合或靶材中心到其所在靶材区中心距离相同，该磁力发生机构平行于靶材设置，基底相对于靶材设置，所述磁力发...
闫宗楷黄楷向勇李响彭志
文献传递
一种磁控溅射镀膜装置及方法、纳米颗粒的制备方法
本发明提供一种磁控溅射镀膜装置，包括同轴设置的圆筒状的磁钢装置、圆筒状的溅射阴极和圆筒状的靶材，圆筒状靶材设置在圆筒状溅射阴极内表面，磁钢装置设置在圆筒状溅射阴极外表面以在靶材内表面形成了一封闭磁场。本发明还提供一种磁控...
向勇闫宗楷李光费益刘雯彭志徐子明
文献传递
一种磁控溅射装置及磁控溅射方法
本发明涉及一种磁控溅射装置，包括磁力发生机构、至少一靶材与可旋转基底，该磁力发生机构平行于靶材设置，基底相对于靶材设置，所述磁力发生机构产生磁力线，磁力线映射到靶材表面，使靶材表面形成有环形均匀分布的多个刻蚀区；本发明还...
闫宗楷黄楷向勇李响彭志
锂离子电池无机固态电解质的高通量实验研究
全固态锂离子电池采用固态离子导体替代液态电解质，可避免目前锂离子电池存在的泄露、腐蚀和易燃等安全性问题，其发展的关键是找到具有高离子电导率和宽电化学工作窗口的固态电解质材料。
闫宗楷朱焱麟李光彭志李响张晓琨向勇
关键词：锂离子电池
锂离子电池无机固态电解质的高通量实验研究
全固态锂离子电池采用固态离子导体替代液态电解质,可避免目前锂离子电池存在的泄露、腐蚀和易燃等安全性问题,其发展的关键是找到具有高离子电导率和宽电化学工作窗口的固态电解质材料。已知的固态电解质材料包括Perovskite、...
闫宗楷朱焱麟李光彭志李响张晓琨向勇
关键词：锂离子电池
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