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肖志文

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇探针
  • 2篇力学状态
  • 1篇弹性铰链
  • 1篇优化设计
  • 1篇自适
  • 1篇自适应
  • 1篇铍青铜
  • 1篇铰链
  • 1篇光刻
  • 1篇LSPR

机构

  • 2篇电子科技大学

作者

  • 2篇肖志文
  • 1篇王皓
  • 1篇宁鹏
  • 1篇熊思勇

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法
本发明为保证在局域等离子体共振(LSPR)接触光刻中探针的力学状态，提出一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法。本发明所采用的设计方法是：根据探针的工作模式，确定铰链必须为对称结构。由于光刻胶表面所承受的压强有限，确...
王皓田思玉肖志文宁鹏熊思勇
文献传递
LSPR接触光刻探针的力学状态分析及其实验研究
随着半导体工业的迅速发展，对半导体的特征尺寸提出越来越高的要求。光刻技术作为制造半导体器件的关键技术之一，光刻分辨率制约着半导体器件的特征尺寸及其性能，而传统光刻技术的分辨率受到光学衍射极限的限制。为了突破光学衍射极限，...
肖志文
关键词：力学状态优化设计
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共1页<1>
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