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宁鹏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇弹性铰链
  • 1篇等离子体
  • 1篇动态仿真
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇探针
  • 1篇自适
  • 1篇自适应
  • 1篇铍青铜
  • 1篇力学状态
  • 1篇局域
  • 1篇铰链
  • 1篇光刻
  • 1篇仿真
  • 1篇SP

机构

  • 2篇电子科技大学

作者

  • 2篇宁鹏
  • 1篇王皓
  • 1篇熊思勇
  • 1篇肖志文

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
接触型局域SP光刻直写头的悬持结构设计及仿真分析
光刻技术在半导体工业中扮演着重要的角色，但衍射极限的存在限制了传统光学光刻在光刻分辨率上的进一步提高。由近场光学发展而来的近场光刻为突破衍射极限提供了新的思路，但光通率不高导致其光刻质量不佳。基于表面等离子体激元的近场光...
宁鹏
关键词：悬臂梁动态仿真
文献传递
一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法
本发明为保证在局域等离子体共振(LSPR)接触光刻中探针的力学状态，提出一种抑制偏转角度的自适应弹性铰链的设计方法。本发明所采用的设计方法是：根据探针的工作模式，确定铰链必须为对称结构。由于光刻胶表面所承受的压强有限，确...
王皓田思玉肖志文宁鹏熊思勇
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