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刘慧
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供职机构:
重庆光电技术研究所
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相关领域:
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合作作者
王艳
重庆光电技术研究所
刘英丽
重庆光电技术研究所
李华高
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白雪平
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刘慧
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2009
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Pt_xIr_(1-x)Si/p-Si红外探测器的研制
2009年
使用超高真空磁控溅射系统在p—Si上制备了铂铱硅(PtxIr1-xSi)薄膜,并制作了PtxIr1-xSi/p-Si红外探测器,研究了探测器在3~5btm波段的特性,结果表明,PtxIr1-xSi/p-Si势垒高度为0.177eV,相应红外探测器截止波长为7.0μm。与普通铂硅红外探测器相比,铂铱硅红外探测器在3~5μm中波红外波段响应明显增强。
李华高
刘慧
白雪平
刘英丽
王艳
关键词:
肖特基势垒
红外探测器
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