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常晓
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
西北工业大学理学院应用物理系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
邵继峰
西北工业大学理学院应用物理系
王丹红
西北工业大学理学院应用物理系
赵亮
西北工业大学理学院应用物理系
张安
西北工业大学理学院应用物理系
刘金铭
西北工业大学理学院应用物理系
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人工晶体学报
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2010
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热处理对Al掺杂ZnO薄膜晶体结构及光电性能的影响
被引量:7
2010年
采用溶胶凝-胶法在普通玻璃衬底上制备了具有c轴择优取向的Al掺杂ZnO透明导电薄膜。实验中将热处理过程分解为预烧、空气退火和真空退火三个部分,研究了各个步骤对于ZAO薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明,500℃预烧550℃空气退火的薄膜,经过550℃,1×10-2Pa真空退火后,其晶体结构和光电性能达到最佳,电阻率最低达到1.77×10-3Ω.cm,可见光范围内的平均透过率约为85%。
刘金铭
赵小如
赵亮
张安
王丹红
邵继峰
曹萌萌
常晓
关键词:
溶胶-凝胶法
晶体结构
光电性能
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