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张少峰

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室更多>>
发文基金：中国航空科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇亚波长
  • 1篇亚波长结构
  • 1篇石英
  • 1篇紫外纳米压印
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇纳米压印
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀速率
  • 1篇光刻
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇波长

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇徐启远
  • 1篇陈海波
  • 1篇刘正堂
  • 1篇李阳平
  • 1篇张少峰

传媒

  • 1篇机械科学与技...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
反应离子刻蚀法制备石英纳米压印模板的工艺研究被引量：3
2012年
为了使用紫外纳米压印法制备出亚波长结构,研究了在石英衬底上采用光刻和反应离子刻蚀技术制备出紫外纳米压印模板,以及模板制备过程中工艺参数对光刻胶和刻蚀速率的影响。利用激光共聚焦显微镜(LSCM)及原子力显微镜(AFM)对光刻和刻蚀图形的表面形貌进行了观察,获得了工艺参数对光刻胶掩膜图形和刻蚀图形的影响规律;在最优工艺参数条件下,所制紫外纳米压印模板整齐、规则,并利用紫外可见近红外光谱仪对其紫外透过率进行了表征,反应离子刻蚀后石英模板的透过率在365 nm处仍大于90%。
张少峰刘正堂李阳平陈海波徐启远
关键词：光刻反应离子刻蚀刻蚀速率亚波长结构紫外纳米压印
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