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汪静
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
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发文基金:
上海市科委纳米专项基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李敏
上海交通大学微纳米科学技术研究...
惠春
上海交通大学微纳米科学技术研究...
孙建平
上海交通大学微纳米科学技术研究...
徐爱兰
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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2篇
中文期刊文章
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2篇
电子电信
主题
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PZT薄膜
1篇
压电薄膜
1篇
溶胶
1篇
溶胶-凝胶
1篇
漏电
1篇
漏电流
1篇
晶化
1篇
PZT
1篇
XRD
1篇
AFM
机构
2篇
上海交通大学
作者
2篇
惠春
2篇
李敏
2篇
汪静
1篇
徐爱兰
1篇
孙建平
传媒
1篇
压电与声光
1篇
纳米科技
年份
1篇
2007
1篇
2005
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不同晶化处理方式对PZT薄膜性能的影响
2005年
采用改进的溶胶一凝胶(sol—gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备PZT薄膜,研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明:快速晶化处理方式更有利于薄膜沿(110)方向的择优生长;并且相对于常规晶化处理方式,快速晶化处理方式制备的PZT薄膜晶粒均匀,排布有序,可有效的提高薄膜的表面质量。电学性能测试结果表明,这种表面形貌可以有效地降低漏电流。
李敏
惠春
汪静
关键词:
PZT薄膜
XRD
AFM
漏电流
溶胶-凝胶
纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能
被引量:1
2007年
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。
李敏
惠春
徐爱兰
汪静
孙建平
关键词:
PZT薄膜
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