付莹莹
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：山东大学化学与化工学院更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- FeCl_3–HCl体系紫铜化学抛光工艺的探讨被引量：2
- 2007年
- 研究了紫铜在FeCl3–HCl微酸性体系中化学抛光的工艺。介绍了该化学抛光工艺的流程及各前、后处理工序的配方。通过筛选实验,确定抛光液中光亮剂为脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-9),辅助光亮剂为乙醇,缓蚀剂为苯并三氮唑(BTA)。采用正交试验,得到最佳化学抛光液配方为:每100mL抛光液中含8g FeCl3,8mL盐酸,0.1 mLAEO-9,0.2g BTA,1.2mL乙醇。最佳抛光温度为30°C左右。根据正交试验结果,讨论了抛光液组成及温度对抛光效果的影响。各因素对抛光效果的影响作用由大到小依次为:抛光液温度>FeCl3质量浓度>AEO-9体积分数或BTA质量浓度>乙醇体积分数>盐酸体积分数。该工艺操作简单,抛光速度快,效果好,低污染,易于推广。
- 张忠诚井涛付莹莹熊丽君
- 关键词：紫铜化学抛光工艺光亮剂缓蚀剂FECL3BTA
