王志峰
- 作品数：8 被引量：11H指数：2
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- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- 一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法
- 本发明公开了一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法。采用离子源辅助阴极电弧沉积技术，配置两个不同特性的双激发源阴极电弧镀膜装置，其中一个为直流电弧蒸发阴极源，用于安装铝靶材，另一个为脉冲电弧蒸发阴极源，用于安装石墨靶；沉...
- 周兵刘竹波高洁于盛旺王志峰徐斌
- 文献传递
- 选择性键合金属元素掺杂类金刚石薄膜的制备及其力学性能研究
- 类金刚石(DLC)薄膜具有高硬度、良好的化学稳定性、低摩擦系数等一系列优点而受到广泛关注。但由于制备技术的限制，导致薄膜存在内应力高和韧性低等缺陷，从而制约其实用化发展。本论文以选择性金属元素掺杂类金刚石薄膜技术为主导，...
- 王志峰
- 关键词：类金刚石薄膜力学性能脉冲频率
- 文献传递
- 一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法
- 本发明公开了一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法。该装置为离子源辅助脉冲阴极电弧装置，制备方法包括下列步骤：将预先化学清洗的硅基片烘干，放置在旋转样品台上；抽真空，通入氩气到真空室，采用离子溅射源对硅基片表面进行物理...
- 周兵刘竹波王志峰
- 文献传递
- 一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法
- 本发明公开了一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法。采用离子源辅助阴极电弧沉积技术，配置两个不同特性的双激发源阴极电弧镀膜装置，其中一个为直流电弧蒸发阴极源，用于安装铝靶材，另一个为脉冲电弧蒸发阴极源，用于安装石墨靶；沉...
- 周兵刘竹波高洁于盛旺王志峰徐斌
- 一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法
- 本发明公开了一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法。该装置为离子源辅助脉冲阴极电弧装置，制备方法包括下列步骤：将预先化学清洗的硅基片烘干，放置在旋转样品台上；抽真空，通入氩气到真空室，采用离子溅射源对硅基片表面进行物理...
- 周兵刘竹波王志峰
- 文献传递
- 选择性键合金属-类金刚石复合薄膜的性能研究被引量：4
- 2017年
- 目的研究具有选择性键合作用的掺杂金属元素(Cu、Al、Ti)对类金刚石(DLC)薄膜的结构和摩擦学性能的影响。方法以高纯石墨及其与金属复合靶作为靶材,采用离子源镀膜技术分别在n-型(100)单晶硅片和抛光304不锈钢片基体上制备金属-DLC复合膜。采用514.6 nm氩离子激发源的Raman光谱仪,对金属-DLC复合薄膜进行拉曼光谱分析。采用努氏硬度计和表面轮廓仪测量计算薄膜的硬度和残余应力。采用原子力显微镜(AFM)观察DLC薄膜的表面形貌和结构。使用球-盘滑动磨损试验机对DLC复合薄膜进行摩擦学性能分析。结果类金刚石薄膜中掺入不同金属元素掺杂后,摩擦系数保持相对稳定,但磨损率存在较大差异。无掺杂DLC膜中的sp^3键含量最高,薄膜硬度高,残余应力大,在摩擦过程中易脱落。Ti-DLC金属复合膜的表面质量最好,结构致密,残余应力释放的同时保持较高的硬度,测得其磨损率最低,为0.13×10^(-15) m^3/nm。结论通过在DLC膜中掺杂不同键合能力的金属元素能够调控DLC薄膜的微观结构,改善薄膜的力学性能(硬度、残余应力),提高薄膜的抗磨损性能。薄膜的摩擦学性能与薄膜的微观结构与金属掺杂元素的存在形态有关。
- 王志峰徐斌张书姣朱丽楠周兵
- 关键词：金属掺杂类金刚石薄膜残余应力摩擦学性能
- 金属掺杂类金刚石薄膜研究进展被引量：8
- 2017年
- 类金刚石薄膜(DLC)因具有优异的力学性能和摩擦学性能而受到广泛关注,但内应力高、热稳定性差等问题制约了它的应用和发展。将适量的金属掺入DLC薄膜中,由于金属与碳的键合作用不同,掺杂后形成的纳米晶或纳米金属碳化物颗粒具有高的活性,增加了晶界滑移,改善了薄膜结构,进而提高了薄膜的力学性能和摩擦学性能,为薄膜的应用和发展提供了新思路。对目前金属掺杂DLC薄膜的研究进行了综述,提出了未来一段时间内金属掺杂DLC薄膜的发展趋势。
- 张书姣吴艳霞朱丽楠唐宾王志峰周兵
- 关键词：类金刚石薄膜金属掺杂内应力润滑
- 选择性键合金属元素掺杂类金刚石薄膜的制备及力学性能研究
- 类金刚石（DLC）薄膜具有高硬度、良好的化学稳定性、低摩擦系数等一系列优点而受到广泛关注。但由于制备技术的限制,导致薄膜存在内应力高和韧性低等缺陷,从而制约其实用化发展。本论文以选择性金属元素掺杂类金刚石薄膜技术为主导,...
- 王志峰
- 关键词：类金刚石薄膜脉冲频率内应力韧性
- 文献传递
