徐斌
- 作品数：8 被引量：5H指数：1
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- 一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法
- 本发明公开了一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法。采用离子源辅助阴极电弧沉积技术，配置两个不同特性的双激发源阴极电弧镀膜装置，其中一个为直流电弧蒸发阴极源，用于安装铝靶材，另一个为脉冲电弧蒸发阴极源，用于安装石墨靶；沉...
- 周兵刘竹波高洁于盛旺王志峰徐斌
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- 一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法
- 本发明公开了一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法。采用离子源辅助阴极电弧沉积技术，配置两个不同特性的双激发源阴极电弧镀膜装置，其中一个为直流电弧蒸发阴极源，用于安装铝靶材，另一个为脉冲电弧蒸发阴极源，用于安装石墨靶；沉...
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- 一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法
- 本发明公开了一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法，包括下列步骤：将预处理好的硬质合金试样放入双辉等离子渗金属炉样品台上，悬挂好自制靶材并放置好辅助阴极；抽真空后通入氩气，对阴极与源极施加高电压并维持一定压差，反溅射...
- 周兵刘竹波于盛旺吴玉程马永黑鸿君徐斌王雪松王钰鹏
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- 一种高透明光致发光的氧化锌-聚乙烯复合涂层的制备方法
- 本发明公开了一种高透明光致发光的氧化锌‑聚乙烯复合涂层的制备方法，属于功能薄膜材料技术领域。制备方法包括下列步骤：将无水醋酸锌与聚乙烯按一定质量比机械搅拌混合后，经模压制成蒸发靶材，然后把制作好的靶材和预先清洗好的抛光单...
- 周兵刘竹波于盛旺徐斌李栓平张志龙
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- 一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法
- 本发明公开了一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法，包括下列步骤：将预处理好的硬质合金试样放入双辉等离子渗金属炉样品台上，悬挂好自制靶材并放置好辅助阴极；抽真空后通入氩气，对阴极与源极施加高电压并维持一定压差，反溅射...
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- 一种高透明光致发光的氧化锌-聚乙烯复合涂层的制备方法
- 本发明公开了一种高透明光致发光的氧化锌‑聚乙烯复合涂层的制备方法，属于功能薄膜材料技术领域。制备方法包括下列步骤：将无水醋酸锌与聚乙烯按一定质量比机械搅拌混合后，经模压制成蒸发靶材，然后把制作好的靶材和预先清洗好的抛光单...
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- TiAlN基多层复合涂层的等离子体制备及其结构性能研究
- 本文采用Ta层作为过渡层，通过磁控溅射(MS)技术在单晶Si(100)与硬质合金(YG8)基体表面沉积了TiAlN/Ta复合涂层与具有不同调制周期的TiAlN/TaN/Ta多层复合涂层。通过对复合涂层相结构、表面和截面微...
- 徐斌
- 关键词：硬质合金等离子体磁控溅射结构性能
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- 选择性键合金属-类金刚石复合薄膜的性能研究被引量：4
- 2017年
- 目的研究具有选择性键合作用的掺杂金属元素(Cu、Al、Ti)对类金刚石(DLC)薄膜的结构和摩擦学性能的影响。方法以高纯石墨及其与金属复合靶作为靶材,采用离子源镀膜技术分别在n-型(100)单晶硅片和抛光304不锈钢片基体上制备金属-DLC复合膜。采用514.6 nm氩离子激发源的Raman光谱仪,对金属-DLC复合薄膜进行拉曼光谱分析。采用努氏硬度计和表面轮廓仪测量计算薄膜的硬度和残余应力。采用原子力显微镜(AFM)观察DLC薄膜的表面形貌和结构。使用球-盘滑动磨损试验机对DLC复合薄膜进行摩擦学性能分析。结果类金刚石薄膜中掺入不同金属元素掺杂后,摩擦系数保持相对稳定,但磨损率存在较大差异。无掺杂DLC膜中的sp^3键含量最高,薄膜硬度高,残余应力大,在摩擦过程中易脱落。Ti-DLC金属复合膜的表面质量最好,结构致密,残余应力释放的同时保持较高的硬度,测得其磨损率最低,为0.13×10^(-15) m^3/nm。结论通过在DLC膜中掺杂不同键合能力的金属元素能够调控DLC薄膜的微观结构,改善薄膜的力学性能(硬度、残余应力),提高薄膜的抗磨损性能。薄膜的摩擦学性能与薄膜的微观结构与金属掺杂元素的存在形态有关。
- 王志峰徐斌张书姣朱丽楠周兵
- 关键词：金属掺杂类金刚石薄膜残余应力摩擦学性能
