万志远
- 作品数：16 被引量：15H指数：3
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
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- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法
- 本发明提供了一种可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法，该石墨舟包含盖板、工字块、滑块、垫块和基座；滑块用于放置垫块，液相外延生长时衬底放置于垫块上；基座、滑块、工字块、盖板四个部分从下向上依次组装在一起；工...
- 宋林伟孔金丞万志远李达李培源毛旭峰杨岸宋魏华朱辉陆骏
- 文献传递
- 过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响被引量：2
- 2019年
- 探索了一种准确测量过冷度的实验方法,并在此基础上,利用光学显微镜、傅里叶红外透射光谱仪、台阶仪、白光干涉仪等测试手段分析了过冷度对Hg Cd Te薄膜厚度均匀性的影响.研究结果表明,过冷度小于2℃,薄膜容易出现中心凹陷、四周凸起的现象;过冷度大于3℃,薄膜中心将会明显凸起,出现宽度为毫米级的周期性起伏,并伴随有crosshatch线产生.当过冷度为2. 5℃时,薄膜厚度极差可缩小至0. 5μm,0. 5 mm×0. 5 mm范围内薄膜相对于衬底的粗糙度增加量为9. 07 nm.
- 陆骏李东升吴军万志远宋林伟李沛张阳孔金丞
- 关键词：碲镉汞过冷度液相外延
- 碲锌镉衬底表面在碲镉汞液相外延工艺中的热腐蚀效应被引量：5
- 2018年
- 该研究以提高液相外延碲镉汞材料的质量为出发点,研究液相外延生长过程中碲锌镉衬底受到高温汞蒸气影响后的变化情况,并利用光学显微镜、白光干涉仪、能谱仪等分析测试手段对碲锌镉衬底表面进行分析.研究结果表明,液相外延生长过程中,高温汞蒸气对碲锌镉衬底中表面沉淀物尺寸无明显影响,但在衬底表面发现两种类型的腐蚀点,一种是尺寸为25μm左右的较大腐蚀点,分布较均匀;另一种是尺寸为7μm左右的圆形腐蚀点,分布不均匀.衬底经过液相外延薄膜成核生长前的温度变化过程以及高温Hg蒸气的作用,碲锌镉衬底表面形貌呈鱼鳞状,粗糙度增大了50%以上.
- 宋林伟吴军孔金丞李东升张阳李沛杨翔万志远黄元晋木胜
- 关键词：液相外延粗糙度
- 可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法
- 本发明提供了一种可自动取片的水平推舟式碲镉汞液相外延用石墨舟及方法，该石墨舟包含盖板、工字块、滑块、垫块和基座；滑块用于放置垫块，液相外延生长时衬底放置于垫块上；基座、滑块、工字块、盖板四个部分从下向上依次组装在一起；工...
- 宋林伟孔金丞万志远李达李培源毛旭峰杨岸宋巍华朱辉陆骏
- 一种用于碲镉汞液相外延用石墨舟磨合的自动化装置
- 本发明公开了一种用于碲镉汞液相外延用石墨舟磨合的自动化装置，包括位于工作台面上的底座夹具单元、磨合行程控制单元、磨合力度控制单元和喷淋单元以及位于其正面的总控制器；磨合行程控制单元、磨合力度控制单元和自动喷淋单元分别与总...
- 杨岸宋魏华宋林伟李达毛旭峰木胜万志远向学文杨翔杨之光
- 文献传递
- 降低表面缺陷的垂直液相外延碲镉汞薄膜用石墨舟及用途
- 本发明提供了一种降低表面缺陷的垂直液相外延碲镉汞薄膜用石墨舟及用途，包括带有楔形槽的石墨舟主体、楔形衬底承载件及固定螺栓；石墨舟主体为一正多面体，其前后左右四个面均设置有楔形槽，该楔形槽用于供楔形衬底承载件插入；楔形衬底...
- 张阳吴军孔金丞杨进宝李沛万志远木胜王宇婷龙云富方东姬荣斌
- 文献传递
- 液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善被引量：7
- 2014年
- 由碲镉汞薄膜材料的厚度不均匀性入手,改进水平滑舟液相外延工艺,从而改善了碲镉汞薄膜材料组分均匀性,使距薄膜边缘1.5 mm(衬底边缘2.5 mm)以内的薄膜材料组分均匀性得到了长足的提高,增大了薄膜材料用于制备焦平面器件的利用率。中波碲镉汞材料(?1/2(77 K)=4.8?m)?x≤0.001,与国外水平相当。
- 吴军毛旭峰万志远李沛韩福忠
- 关键词：碲镉汞LPE
- 碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善被引量：2
- 2019年
- 对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy, LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布。通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系。模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性。最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差??为1.4?m、组分极差?x不超过0.002的长波碲镉汞薄膜。
- 陆骏李东升木胜万志远朱辉薄俊祥杨岸黄元晋王志斌
- 关键词：碲镉汞LPE
- 一种用于碲镉汞液相外延用石墨舟磨合的自动化装置
- 本发明公开了一种用于碲镉汞液相外延用石墨舟磨合的自动化装置，包括位于工作台面上的底座夹具单元、磨合行程控制单元、磨合力度控制单元和喷淋单元以及位于其正面的总控制器；磨合行程控制单元、磨合力度控制单元和自动喷淋单元分别与总...
- 杨岸宋巍华宋林伟李达毛旭峰木胜万志远向学文杨翔杨之光
- 一种碲镉汞液相外延生长源定量合成的装置
- 本实用新型属于红外探测器制造领域，涉及一种碲镉汞液相外延生长源定量合成的装置，该装置包括石墨模具和石英管，石墨模具是由模具A和模具B紧固扣合而成的密闭空腔，模具A为槽型结构，开设有合成槽；模具B内设置有数个定量槽和导流槽...
- 李东升李沛郭建华万志远黄元晋宋林伟木胜毛旭峰张阳陆骏
- 文献传递
