您的位置： 专家智库 > >

侯令涛

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：三峡大学化学与生命科学学院更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇氧化铪

机构

  • 1篇三峡大学

作者

  • 1篇刘义稳
  • 1篇周新文
  • 1篇潘家荣
  • 1篇李伟
  • 1篇王成
  • 1篇吴干德
  • 1篇周俊
  • 1篇侯令涛
  • 1篇明莉

传媒

  • 1篇纳米科技

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
氧化铪薄膜的制备及其性能研究被引量：1
2013年
采用电子束反应蒸发金属铪、APS离子辅助反应蒸发氧化铪、RF离子辅助反应蒸发氧化铪三种方式制备了单层HfO2薄膜，对样品的光学性能、结构特性以及抗激光损伤特性进行研究，结果表明，离子辅助使氧化铪薄膜更为致密；电子束蒸发氧化铪薄膜为非晶态，离子辅助制备氧化铪薄膜为晶态。选择合适的离子辅助工艺，有利于降低薄膜的缺陷吸收，提高氧化铪薄膜的抗损伤性能。
王成周新文侯令涛周俊李伟吴干德刘义稳明莉潘家荣
关键词：氧化铪
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0