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张辰阳

作品数：24 被引量：2H指数：1
供职机构：中国建筑材料科学研究总院更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 4篇会议论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 9篇化学工程

主题

  • 23篇石英玻璃
  • 10篇抗酸性
  • 10篇氟气
  • 8篇网络
  • 6篇疏松
  • 6篇四面体
  • 4篇氢氟酸
  • 4篇明化
  • 4篇掺杂
  • 3篇受热
  • 3篇气孔
  • 3篇含硅
  • 2篇低膨胀
  • 2篇氧化硅
  • 2篇液相
  • 2篇液相反应
  • 2篇石英
  • 2篇四氯化硅
  • 2篇羟基
  • 2篇卤素

机构

  • 24篇中国建筑材料...

作者

  • 24篇王蕾
  • 24篇聂兰舰
  • 24篇贾亚男
  • 24篇张辰阳
  • 22篇向在奎
  • 22篇符博
  • 21篇王慧
  • 20篇邵竹锋
  • 19篇王玉芬
  • 9篇饶传东
  • 8篇刘飞翔
  • 8篇王宏杰
  • 1篇邵竹峰

传媒

  • 3篇2017年全...
  • 2篇建筑玻璃与工...

年份

  • 5篇2019
  • 3篇2018
  • 14篇2017
  • 2篇2016
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
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石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
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石英玻璃的制备方法
本发明公开了一种石英玻璃的制备方法，以含硅化合物为原料，含硅化合物经汽化后通入燃烧器，含硅化合物发生化学反应，并沉积形成石英玻璃或二氧化硅疏松体，含硅化合物的分子选自下述硅烷、有机硅烷、有机硅氧烷和聚硅氧烷中的一种。本发...
聂兰舰王玉芬向在奎饶传东刘飞翔王蕾王慧邵竹锋贾亚男王宏杰符博张辰阳
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石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
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制备石英玻璃的烧结方法及石英玻璃
本发明是关于一种制备石英玻璃的烧结方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生，以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。用于将二氧化硅疏松体在烧结空间中进行烧结；所述方...
聂兰舰向在奎饶传东王蕾刘飞翔邵竹锋王慧王宏杰贾亚男符博张辰阳王玉芬
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卤素对石英玻璃的影响被引量：1
2018年
石英玻璃以其优越的物理、化学性能被广泛应用于航空、航天及各高新技术领域,而卤素的存在会对石英玻璃的性能产生影响。卤素对石英玻璃的影响主要涉及氟和氯两种元素对石英玻璃结构、性能的影响两个方面,本文综合国内外关于氟和氯对石英玻璃的结构弛豫、折射率等影响的文献,归纳了卤素对石英玻璃影响的体现,论述了石英玻璃中卤素(主要是氟)的表征方法,为国内相关领域的研究提供参考。
贾亚男聂兰舰王蕾张辰阳符博
关键词：石英玻璃卤素化学性能玻璃结构结构弛豫折射率
制备石英玻璃的烧结装置及系统
本实用新型是关于一种制备石英玻璃的烧结装置及系统，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生，以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。制备石英玻璃的烧结装置包括：炉体还具连通烧结空间...
聂兰舰向在奎饶传东王蕾刘飞翔邵竹锋王慧王宏杰贾亚男符博张辰阳王玉芬
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半导体刻蚀用耐久性石英玻璃制备及发展现状被引量：1
2018年
高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材．本文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材料情况、在此基础上，重点介绍了国内外半导体刻蚀用耐久性石英玻璃掺杂元素种类、含量、熔制工艺等制备技术，以及对刻蚀速率的影响。
聂兰舰向在奎贾亚男张辰阳王蕾
关键词：半导体集成电路刻蚀速率耐久性玻璃制备
石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于实现制备羟基含量可控的石英玻璃。方法包括：向烧结空间通入水蒸气气氛，在含有水蒸气的环境下，使水蒸气在二氧化硅疏松体中反应和/或吸附，在二氧化...
聂兰舰向在奎饶传东王蕾刘飞翔邵竹锋王慧王宏杰贾亚男符博张辰阳王玉芬
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