贾亚男
- 作品数：38 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国建筑材料科学研究总院更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：化学工程机械工程更多>>
- 退火对石英玻璃假想温度的影响
- 石英玻璃的假想温度作为结构弛豫的表征,对石英玻璃相关性能产生影响,假想温度值受热处理工艺的影响,可通过红外光谱法测量。退火作为石英玻璃热处理的主要工艺,对应力、结构等存在影响,通过调节退火过程的工艺参数,可以影响石英玻璃...
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- 关键词：石英玻璃退火
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- 高性能光学合成石英玻璃的制备和应用
- 高性能光学合成石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学合成石英玻璃制...
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- 关键词：化学气相沉积
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- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
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- 石英玻璃中羟基对其性能的影响
- 化学气相沉积合成石英玻璃中羟基主要以三种形式存在,即孤立羟基、相邻羟基和强氢键羟基。由于羟基存在结构形式不同,它对石英玻璃理化性能的利害作用也不同。本文主要概述了均化工艺对合成石英玻璃中羟基含量的影响,以及羟基存在结构形...
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- 关键词：石英玻璃羟基性能特点
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- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶...
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- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
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- 制备石英玻璃的烧结装置及系统
- 本发明是关于一种制备石英玻璃的烧结装置及系统，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生，以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。制备石英玻璃的烧结装置包括：炉体，炉体上还具连通烧结...
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- 卤素对石英玻璃的影响
- 石英玻璃以其优越的物理、化学性能被广泛应用于航空、航天及各高新技术领域,而卤素的存在会对石英玻璃的性能产生影响。卤素对石英玻璃的影响主要涉及氟和氯两种元素对石英玻璃结构、性能的影响两个方面,本文综合国内外关于氟和氯对石英...
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- 关键词：石英玻璃卤素结构弛豫
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- 半导体刻蚀用耐久性石英玻璃制备及发展现状被引量：1
- 2018年
- 高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材．本文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材料情况、在此基础上，重点介绍了国内外半导体刻蚀用耐久性石英玻璃掺杂元素种类、含量、熔制工艺等制备技术，以及对刻蚀速率的影响。
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- 关键词：半导体集成电路刻蚀速率耐久性玻璃制备
- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于实现制备羟基含量可控的石英玻璃。方法包括：向烧结空间通入水蒸气气氛，在含有水蒸气的环境下，使水蒸气在二氧化硅疏松体中反应和/或吸附，在二氧化...
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