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罗文中
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华南理工大学电子与信息学院
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发文基金:
广东省科技计划工业攻关项目
广东省大学生创新实验项目
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相关领域:
电气工程
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合作作者
胡伟
华南理工大学电子与信息学院
谢佳亮
华南理工大学电子与信息学院
杨铁铮
华南理工大学电子与信息学院
张海燕
广东工业大学材料与能源学院
廖荣
广东工业大学材料与能源学院
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氧化锌
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氧化锌薄膜
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原子层沉积
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缓冲层
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广东工业大学
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廖荣
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张海燕
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胡伟
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材料导报
年份
1篇
2013
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原子层沉积氧化锌应用于铜铟镓硒太阳能电池缓冲层的研究
被引量:1
2013年
用原子层沉积法在钠钙玻璃上沉积氧化锌薄膜,利用场发射扫描电镜和X射线衍射(XRD)等对样品表面形貌和物相进行分析,结果表明得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,颗粒的尺寸在30~60nm之间;测得的ZnO薄膜厚度仅50nm,符合缓冲层要求;薄膜在可见光区域透射率达90%以上;使用原子层沉积氧化锌薄膜作铜铟镓硒太阳能电池的缓冲层,TEM显示氧化锌层完好、致密地覆盖在CIGS层上,电池的光电转换效率较高,完全可以替代有毒的CdS作缓冲层。
廖荣
张海燕
谢佳亮
杨铁铮
罗文中
胡伟
关键词:
原子层沉积
氧化锌薄膜
缓冲层
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