廖荣
- 作品数：22 被引量：32H指数：3
- 供职机构：华南理工大学电子与信息学院更多>>
- 发文基金：国家级大学生创新创业训练计划广东省自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 原子层沉积氧化锌应用于铜铟镓硒太阳能电池缓冲层的研究被引量：1
- 2013年
- 用原子层沉积法在钠钙玻璃上沉积氧化锌薄膜,利用场发射扫描电镜和X射线衍射(XRD)等对样品表面形貌和物相进行分析,结果表明得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,颗粒的尺寸在30～60nm之间;测得的ZnO薄膜厚度仅50nm,符合缓冲层要求;薄膜在可见光区域透射率达90%以上;使用原子层沉积氧化锌薄膜作铜铟镓硒太阳能电池的缓冲层,TEM显示氧化锌层完好、致密地覆盖在CIGS层上,电池的光电转换效率较高,完全可以替代有毒的CdS作缓冲层。
- 廖荣张海燕谢佳亮杨铁铮罗文中胡伟
- 关键词：原子层沉积氧化锌薄膜缓冲层
- 原子层沉积Al2O3薄膜的制备与性能研究
- 2019年
- 采用原子层沉积法分别在Si片和玻璃片上制备了Al2O3薄膜,并用SEM、XRD、XPS、椭偏测厚仪、紫外可见分光光度计和HP4284A精密LCR测试仪对Al2O3薄膜的表面形貌、微观结构、组成成分、薄膜厚度、光学特性和电学特性进行了分析。得出了以下结论:Al2O3薄膜的表面粗糙度随沉积温度的增大而减小,随TMA脉冲时间的增大而增大;在可见光区拥有高透射比;满足化学成分配比,即Al:O=2:3;介电常数K在7~10之间;在沉积温度为300℃,TMA脉冲时间为0.1s制备的性能最为优异。
- 廖荣刘慧君柯嘉聪李涌春廖鸿韬罗志勇
- 关键词：AL2O3原子层沉积介电常数
- 无镉的铜铟镓硒太阳电池关键膜层XPS及AFM分析被引量：1
- 2014年
- 应用溅射后硒化法和原子层沉积法分别制备了无镉的铜铟镓硒电池关键膜层CIGS光吸收薄膜和ZnO缓冲层,着重对该两膜层进行XPS和AFM表面分析,得到比较理想的制备工艺条件,并结合其它检测方法:SEM、XRD及吸收光谱等,证明采用操作简便、成本低廉的该工艺能制备出无镉的铜铟镓硒电池。通过I-V测试结果,该电池有一定的光电转换效率。
- 廖荣张海燕王道然杨铁铮范宇
- 关键词：原子层沉积氧化锌XPSAFM
- 高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究
- 2019年
- 采用磁控溅射法分别在Si片和玻璃片上制备了HfO2薄膜,并用SEM、XRD、XPS、紫外可见分光光度计和HP4284A精密LCR测试仪对HfO2薄膜的表面形貌、微观结构、组成成分、光学特性和电学特性进行了分析。得出了以下结论:HfO2薄膜表面较为平坦致密,晶粒大小均匀,晶粒尺寸大部分在10nm^20nm之间;薄膜为多晶结构,O和Hf的原子比接近2:1,且随着氩氧比的增加,O和Hf的原子比呈上升趋势;薄膜在400nm^800nm波长范围内光的透射率都在85%以上,折射率都在2.0以上;漏电流较小,介电常数在16以上。高介电HfO2材料适合代替传统Si O2做栅介质材料。
- 廖荣邓永健王家驹赵飞兰郑若茜刘慧君柯嘉聪
- 关键词：HFO2磁控溅射介电常数
- 教研资源共享的“微电子工艺实验”改革被引量：3
- 2016年
- 为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共享,建立了由教学内容的准备、多媒体教学、实际动手流片、完善有效的实验考核方案四部分组成的教学方式,激发了同学们学习的热情,取得了较好的教学效果。
- 廖荣
- 关键词：教学改革
- 低工作电压聚噻吩薄膜晶体管被引量：1
- 2010年
- 以高掺杂Si单晶片作为衬底且充当栅电极,采用磁控溅射法在硅片上沉积HfTiO薄膜作为栅介质层,聚三己基噻吩(P3HT)薄膜作为半导体活性层,金属Au作为源、漏电极,并采用十八烷基三氯硅烷(OTS)对栅介质层表面修饰,在空气环境下成功地制备出聚合物薄膜晶体管(PTFT).PTFT器件测试结果表明,该晶体管在低的驱动电压(<-1V)下仍呈现出良好的饱和行为,其阈值电压和有效场效应迁移率分别为0.4V和2.2×10-2cm2/V·s.通过对金属-聚合物-氧化物层-硅半导体(MPOS)结构电容器的电容-电压(C-V)特性测试发现,MPOS电容器的电容呈现出明显的频率依赖性和C-V迟滞现象,对其产生的物理机理进行了讨论.
- 刘玉荣陈伟廖荣
- 关键词：场效应迁移率高K栅介质
- VHDL数字系统设计实验教学研究被引量：6
- 2017年
- VHDL数字系统设计实验课程已建成立体化教学资源,自主开发了EDA实验平台,建成含课堂视频、实验指导视频、电子教案、网上信息发布、师生互动等的课程网站;还精心设计了实验内容,安排了由浅入深的基本模块电路设计、简单综合设计、接近工程实际的复杂设计3个层次实验;改革实验教学方法,提供全方位的实验教学指导;加强学生实验过程管理,开发并使用了现场电脑打分系统;完善有效的实验考核方案。结果表明:该一系列措施在实验教学体系建设方面取得了较好成绩,使实践课达到了教学直观和知识系统化的目的,学生普遍反映受益匪浅。
- 廖荣李蓓张振杰李宇威
- 关键词：超高速集成电路硬件描述语言现场可编程门阵列实验教学
- 一种平面分离双栅薄膜晶体管及其制备方法
- 本发明属于半导体技术领域，公开了一种平面分离双栅薄膜晶体管及其制备方法。所述方法为：(1)在衬底上沉积绝缘介质材料作为过渡层；(2)在过渡层上沉积导电薄膜，光刻形成两个栅电极；(3)在过渡层和栅电极上沉积绝缘薄膜形成绝缘...
- 刘玉荣廖荣姚若河
- 文献传递
- 一种平面分离双栅薄膜晶体管
- 本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种平面分离双栅薄膜晶体管。所述平面分离双栅薄膜晶体管，自下而上依次包括衬底、过渡层、栅电极层、绝缘栅介质层、半导体有源层、源电极/漏电极，所述源电极和漏电极相对设置于所述半导体有源层...
- 刘玉荣廖荣姚若河
- 文献传递
- 原子层沉积制备氧化锌纳米管的方法
- 本发明属于半导体材料领域，公开了一种原子层沉积制备氧化锌纳米管的方法。将具有多孔结构的聚碳酸酯薄膜置于原子层沉积设备的反应腔内，然后分别以惰性气体携带的DEZn和H<Sub>2</Sub>O作为气相前驱体，脉冲交替地通入...
- 廖荣
- 文献传递
