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梁栋
作品数:
1
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供职机构:
河北半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
冯志宏
河北半导体研究所
刘波
河北半导体研究所
袁凤坡
河北半导体研究所
尹甲运
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2008
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Al在生长InGaN材料中的表面活化效应
2008年
为了解决材料的界面平整度,改善材料的晶体质量,在Ⅲ-Ⅴ族氮化物(InGaN)材料的生长过程中,加入了Al掺杂剂。实验发现,InGaN材料的双晶衍射半宽从533 arcsec(非掺Al)下降到399 arcsec(轻掺Al),PL光谱半宽变窄,从21.4 nm(非掺Al)降为20.9 nm(轻掺Al)。研究结果表明,Al作为活性剂明显提高了InGaN材料质量,这将对改善LED和LD多量子阱材料和器件质量带来积极影响,目前还没有相关的文献报道。
袁凤坡
尹甲运
刘波
梁栋
冯志宏
关键词:
氮化镓
铟镓氮
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