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涂晟

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇高灵敏
  • 1篇高灵敏度

机构

  • 1篇中国科学院电...

作者

  • 1篇陈德勇
  • 1篇王军波
  • 1篇商艳龙
  • 1篇涂晟

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作被引量：1
2011年
为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明,加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。
涂晟王军波商艳龙陈德勇
关键词：微电子机械系统高灵敏度
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