商艳龙
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于电磁激励检测方式的谐振式微机械加速度传感器
- 本发明公开了一种基于电磁激励检测方式的谐振式微机械加速度传感器，涉及传感器技术，包括谐振器、支撑梁和质量块，且均通过在SOI硅片衬底上用MEMS工艺加工制作而成。两个H型谐振器对称分布在质量块的两侧，每一H型谐振器的矩形...
- 王军波商艳龙陈德勇
- 文献传递
- 悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器
- 本发明提供了一种悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器。其中的一种悬臂件包括：支撑框架；第一质量块和第二质量块，左右对称悬空设置于支撑框架内；第一支撑梁，连接于第一质量块和第二质量块上部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；第二...
- 王军波商艳龙陈德勇
- 文献传递
- 高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作被引量：1
- 2011年
- 为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明,加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。
- 涂晟王军波商艳龙陈德勇
- 关键词：微电子机械系统高灵敏度
- 基于电磁激励的SOI-MEMS谐振式加速度计的闭环检测系统(英文)被引量：2
- 2012年
- 介绍了一种基于电磁激励方式,采用基于绝缘体上硅的微电子机械系统(SOI-MEMS)加工方法制作谐振式加速度计及其闭环控制电路系统.传感器芯片制作采用的是SOI材料(10μm+2μm+290μm),利用MEMS加工工艺制作.当外界z轴方向加速度作用于加速度计时,加速度计的两根"H"型谐振梁因受到弯曲应力而产生谐振频率的漂移,通过检测谐振梁频率的变化标定加速度的大小.电磁激励检测方式有利于加速度计的最终闭环控制.闭环电路控制系统主要由增益放大部分、自动增益控制(AGC)电路缓冲系统和移相器组成.测试结果显示,当有1g重力加速度作用于加速度计,闭环电路可稳定输出检测正弦频率信号58.958 kHz,与开环扫频结果一致.加速度计的"H"型谐振梁空气中检测Q值约为400,灵敏度可达584 Hz/g.
- 王军波商艳龙陈德勇史强李光北
- 关键词：闭环控制谐振式加速度计
- 悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器
- 本发明提供了一种悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器。其中的一种悬臂件包括：支撑框架；第一质量块和第二质量块，左右对称悬空设置于支撑框架内；第一支撑梁，连接于第一质量块和第二质量块上部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；第二...
- 王军波商艳龙陈德勇
- 文献传递
