耿浩
- 作品数：16 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 基于莫尔条纹检测的自解耦微陀螺装置
- 一种基于莫尔条纹检测的自解耦微陀螺装置，主要结构包括下基板、键合框体、上基板、驱动磁体、检测磁体、定光栅、驱动质量块、检测质量块、弹性梁、动光栅组成，下基板对称设置矩形驱动磁体、检测磁体、2个定光栅，键合框体固定连接上基...
- 李孟委耿浩梁洲鑫李秀源吴倩楠
- 文献传递
- 纳米光栅微机械陀螺
- 一种纳米光栅微机械陀螺，主要结构由上基板、键合框体、下基板、支撑框体、外质量块、内质量块、驱动机构、检测机构、动光栅、驱动磁体、检测磁体、定光栅组成,上基板设置支撑框体、内质量块、外质量块、驱动机构、检测机构、内质量块中...
- 李孟委耿浩梁洲鑫吴倩楠李秀源
- 文献传递
- 基于光栅检测的微陀螺设计与研究
- 随着自主导航市场的不断扩大，对微惯性器件的需求也日益增加，微机械陀螺作为微小型导航组件的关键传感器，是高精度微惯性器件的重要研究方向。实际应用对微陀螺检测精度的要求逐年提高，微弱科氏力的检测是高精度微机械陀螺的关键技术，...
- 耿浩
- 关键词：微陀螺
- 选择性阳极键合技术在光栅陀螺中的应用
- 2020年
- 阳极键合技术广泛应用在晶圆级MEMS器件制造和封装当中,对于有悬臂梁结构器件容易在键合时发生吸合.采用选择性阳极键合技术防止陀螺在键合中吸合失效.推导了陀螺梁与玻璃的静电吸合电压公式并建立吸合电压与硅结构-玻璃间隙关系模型.采用深硅制作陀螺结构,在玻璃基底溅射Al/Cr制作光栅,最后进行阳极键合.结果表明,键合界面没有缺陷,铬及其氧化物导电抗吸合性使得硅-玻璃阳极键合未发生静电吸合失效现象,对样品进行抗剪强度测试,得出平均键合强度为33.94 MPa,键合质量良好.
- 郝飞帆李孟委王俊强金丽金丽
- 关键词：MEMS陀螺阳极键合键合强度
- 纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置
- 纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、中央设有动光栅...
- 李孟委梁洲鑫耿浩李秀源吴倩楠
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- 纳米光栅自解耦微陀螺装置
- 一种纳米光栅自解耦微陀螺装置，主要结构包括下基板、键合框体、上基板、驱动磁体、检测磁体、定光栅、驱动质量块、检测质量块、弹性梁、动光栅组成，下基板对称设置矩形驱动磁体、检测磁体、2个定光栅，键合框体固定连接上基板和下基板...
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- 纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置
- 纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、中央设有动光栅...
- 李孟委梁洲鑫耿浩李秀源吴倩楠
- 文献传递
- 基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器
- 一种基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、定光栅层、敏感机构、下基板，上基板设置有四个光电探测阵列，敏感机构包括支撑框体、检测梁、连接梁、质量块、动光栅，定光栅层设置有四个定光栅，下基板设置有四个...
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- 双层纳米光栅微位移检测仿真被引量：5
- 2018年
- 针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结果表明:这2种双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随第二层纳米光栅结构的位移移动量周期性变化,通过探测纳米光栅的衍射效率来获得面内或者离面的位移移动量。
- 王宾李孟委李孟委耿浩王高
- 关键词：位移传感器严格耦合波理论衍射效率仿真
- 纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器
- 一种纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置4个光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、带有动光...
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