吴倩楠
- 作品数：105 被引量：54H指数：6
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省青年科技研究基金年山西省研究生优秀创新项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于光刻胶牺牲层的RF MEMS开关制备方法
- 2023年
- 论文针对RF MEMS开关上电极传统的牺牲层工艺存在工艺兼容性差、释放时热应力大等问题,提出了一种基于光刻胶牺牲层的MEMS开关制备方法。通过采用在氮气环境下进行固化处理的方法,解决了光刻胶作为牺牲层时容易出现的表面褶皱、破裂等问题,同时提高了牺牲层表面的平整度;通过氧等离子体干法刻蚀释放工艺,获得了具有高平整度和低粗糙度的MEMS开关上电极结构。测试结果表明,基于光刻胶牺牲层工艺制备的RF MEMS开关在DC-20GHz频段内性能良好,隔离度均小于-30.0dB,插入损耗均大于-1.0dB。该RF MEMS开关具有良好的应用前景。
- 高旭东高旭东吴倩楠吴倩楠
- 关键词：牺牲层
- 一种基于π型氮化钽薄膜电阻的MEMS衰减器
- 2021年
- 针对传统衰减器体积大、反应时间长、可靠性差等问题,提出了一种基于氮化钽薄膜电阻的MEMS衰减器。根据π型衰减网路理论计算得到各个电阻的阻值,并计算各个电阻的仿真尺寸。利用HFSS 15.0电磁波仿真软件对衰减器结构进行仿真计算并优化。通过修改磁控溅射参数制备稳定的氮化钽薄膜电阻,在此基础上制作MEMS衰减器。采用矢量网络分析仪和探针台进行衰减器射频性能测试。测试结果表明,在0.1~20GHz频率范围内,衰减器的回波损耗大于12.4dB,插入损耗小于2.1dB,衰减精度小于5dB。衰减器整体尺寸为2.2mm×1.2mm×1mm。
- 朱光州张世义王俊强吴倩楠吴倩楠王志斌
- 关键词：衰减器MEMS
- 一种L~E波段的混合型射频MEMS单刀双掷开关设计
- 2023年
- 针对传统RF MEMS单刀双掷(SPDT)开关应用存在频段低、插入损耗高、隔离度低等问题,设计了一种混合型SPDT开关,通过在一条通路上设置接触式开关和电容式开关,实现了在L~E频段下的低插入损耗和高隔离度。通过设计蛇形上电极结构,降低了上电极的弹性系数,进而降低开关上电极下拉所需的驱动电压。采用HFSS仿真软件对混合型SPDT开关的射频性能参数进行了优化,并利用COMSOL对开关的蛇形上电极进行应力-位移分析。仿真结果表明,在DC~90 GHz的频段下,SPDT开关的插入损耗小于1.5 dB@90 GHz,隔离度大于52 dB@67 GHz、29 dB@90 GHz。此开关适用于无线通信系统、雷达系统和仪器测量系统等对工作频段要求高的领域内。
- 李晓琪湛永鑫潘长凯吴倩楠李孟委
- 关键词：射频MEMS开关单刀双掷开关
- 多频带太赫兹滤波器的设计
- 2016年
- 基于不同大小形状的谐振环对电磁场不同响应的原理,设计了一种由6个嵌套式的方形封闭谐振环结构(CRR)组成的多频带太赫兹滤波器。通过利用时域有限差分法(FDTD)对该滤波器的透射特性进行研究,结果表明:当电磁波正入射或斜入射到谐振环所在平面时,能够出现六频带的滤波性,并且其透射系数对入射角度的变化并不敏感。该设计增加了滤波频带的个数,提高了滤波器对频率的敏感度,为多频带传感器、太赫兹通信技术等领域提供了理论方法。
- 米洋吴倩楠闫仕农
- 关键词：时域有限差分法多频带
- 一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计被引量：1
- 2022年
- 针对射频多端口器件微波测试需求,基于SOLT校准原理设计了一种工作频率在DC~12 GHz范围内、基于RF MEMS开关的四端口电子校准件。数值仿真结果表明,在短路状态下,器件的回波损耗小于0.15 dB;在直通状态下,器件的插入损耗小于0.5 dB,端口之间的隔离度大于20 dB;在开路状态下,器件的回波损耗小于0.3 dB,端口之间的隔离度大于25 dB;同时采用微表面加工工艺,利用磁控溅射工艺对负载电阻进行了制备,其测试结果约为50Ω,符合设计要求。设计的基于RF MEMS开关的四端口校准件,具有射频性能好、体积小、易于集成等优点,能够满足X波段微波多端口器件在片测试的应用需求。
- 曹钎龙吴倩楠吴倩楠陈玉王俊强陈玉
- 关键词：插入损耗回波损耗隔离度
- 一种石墨烯RF NEMS开关
- 本发明属于电子开关技术领域，具体涉及一种石墨烯RF NEMS开关，包括衬底、微波传输线、介电层和悬浮顶部电极石墨烯导电膜，所述衬底上方分布有微波传输线，所述微波传输线上方固定有介电层和悬浮顶部电极石墨烯导电膜，所述介电层...
- 李孟委李静吴倩楠张卯赟
- 一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺
- 本发明涉及微惯性导航技术领域，具体涉及一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺。所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构；所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块...
- 李孟委吴倩楠褚伟航
- 文献传递
- 一种高功率射频MEMS开关设计
- 2023年
- 随着无线通信设备小型化以及宽通信范围的需求导致器件的功率密度要求越来越高。射频前端接收器和基站天线等射频通信应用要求开关能处理1W~2W的射频信号。论文设计了一种低损耗、高功率容量的四触点射频MEMS开关。文中对四触点射频MEMS开关基地材料和上电极结构进行优化,提升了四触点射频MEMS开关的射频性能和功率容量。经HFSS电磁仿真可知:该射频MEMS开关在L~K波段内,插入损耗≤0.2GHz,隔离度≥27dB,经理论计算,该射频MEMS开关的功率容量为2.17W。
- 宁朝东吴倩楠王俊强李孟委
- 关键词：功率容量射频MEMS开关触点
- 一种基于锁相放大的非接触式感应电流检测系统及方法
- 本发明属于感应电流检测技术领域，具体涉及一种基于锁相放大的非接触式感应电流检测系统及方法，包括控制电路、波同转换器、双脊形波导、电源模块、第一射频信号源、锁相放大器、第二射频信号源，双脊形波导的两端分别连接有波同转换器，...
- 王耀利黄晓龙吴倩楠王志斌李孟委
- 文献传递
- 一种基于RF MEMS开关的多刀多掷开关
- 本发明涉及一种基于RF MEMS开关的多刀多掷开关，包括：衬底；设置在衬底上且级联的两个MEMS单刀多掷开关；MEMS单刀多掷开关包括若干信号线、地线、若干上电极、若干驱动电极、功分器和若干空气桥。该多刀多掷开关通过将两...
- 吴倩楠张世义王姗姗余建刚李孟委
