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雷晓阳

作品数:2 被引量:2H指数:1
供职机构:福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所更多>>
发文基金:福建省科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇显示器
  • 1篇在场
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇蚀刻
  • 1篇平板显示
  • 1篇平板显示器
  • 1篇显影
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇FED
  • 1篇场发射显示
  • 1篇场发射显示器

机构

  • 2篇福州大学

作者

  • 2篇郭太良
  • 2篇姚亮
  • 2篇张永爱
  • 2篇雷晓阳

传媒

  • 1篇液晶与显示
  • 1篇现代显示

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
平板显示器中ITO透明电极制备的研究被引量:1
2008年
利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌。比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和FeCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响。最后指出在25±2℃的环境下,刻蚀液HCl、H2O和FeCl3.6H2O的配比满足3L∶1L∶(20~30g)时,ITO膜的刻蚀速率能达到1nm/s,所制备的透明电极边缘整齐无钻蚀,适合于制备平板显示器中的透明精细电极。
姚亮张永爱雷晓阳郭太良
关键词:平板显示器湿法刻蚀
光刻胶在场发射显示器(FED)制备中的应用被引量:1
2006年
论述了光刻胶在场发射显示器制备中的应用,采用丝网印刷技术将光刻胶转移到镀有金属薄膜的玻璃基片上,利用紫外光对其进行光刻,通过视频显微镜对每一步实验过程进行观察和测试,以确定最佳实验工艺。结果表明,利用200目的丝网将光刻胶印刷至基片上,在85℃下保温60分钟,曝光55s,采用1%的25℃碳酸纳显影60s,110℃下固膜30分钟后,蚀刻出的金属电极精细整齐,为制备FED精细电极奠定了基础。
雷晓阳张永爱姚亮郭太良
关键词:场发射显示器光刻胶显影蚀刻
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