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周顺

作品数:2 被引量:5H指数:2
供职机构:西安工业学院光电工程学院更多>>
相关领域:电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇可编程控制
  • 2篇可编程控制器
  • 2篇控制器
  • 2篇编程控制
  • 2篇编程控制器
  • 2篇程控制
  • 1篇冗余
  • 1篇冗余设计
  • 1篇气动
  • 1篇气动控制
  • 1篇气缸
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇控制研究
  • 1篇回路
  • 1篇回路设计
  • 1篇PECVD
  • 1篇MOCVD
  • 1篇触摸屏

机构

  • 2篇西安工业学院

作者

  • 2篇高爱华
  • 2篇刘卫国
  • 2篇周顺
  • 1篇张伟
  • 1篇李岗

传媒

  • 1篇液压与气动
  • 1篇弹箭与制导学...

年份

  • 2篇2006
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
等离子体增强化学气相沉积系统的温度控制研究被引量:3
2006年
介绍了等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法。该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性。
高爱华刘卫国周顺
关键词:PECVD温度控制可编程控制器触摸屏冗余设计
MOCVD的气动控制回路设计被引量:2
2006年
介绍了MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)液态源金属有机物化学气相沉积设备,研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路,实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性,确保了工艺的重复性和稳定性。
高爱华刘卫国张伟周顺李岗
关键词:MOCVD气动控制气缸可编程控制器
共1页<1>
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