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周顺
作品数:
2
被引量:5
H指数:2
供职机构:
西安工业学院光电工程学院
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
刘卫国
西安工业学院光电工程学院
高爱华
西安工业学院光电工程学院
李岗
西安工业学院光电工程学院
张伟
西安工业学院光电工程学院
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文献类型
2篇
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机械工程
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可编程控制
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机构
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西安工业学院
作者
2篇
高爱华
2篇
刘卫国
2篇
周顺
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张伟
1篇
李岗
传媒
1篇
液压与气动
1篇
弹箭与制导学...
年份
2篇
2006
共
2
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等离子体增强化学气相沉积系统的温度控制研究
被引量:3
2006年
介绍了等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法。该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性。
高爱华
刘卫国
周顺
关键词:
PECVD
温度控制
可编程控制器
触摸屏
冗余设计
MOCVD的气动控制回路设计
被引量:2
2006年
介绍了MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)液态源金属有机物化学气相沉积设备,研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路,实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性,确保了工艺的重复性和稳定性。
高爱华
刘卫国
张伟
周顺
李岗
关键词:
MOCVD
气动控制
气缸
可编程控制器
全选
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