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李岗

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西安工业学院光电工程学院更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇气动
  • 1篇气动控制
  • 1篇气缸
  • 1篇可编程控制
  • 1篇可编程控制器
  • 1篇控制器
  • 1篇回路
  • 1篇回路设计
  • 1篇编程控制
  • 1篇编程控制器
  • 1篇MOCVD
  • 1篇程控制

机构

  • 1篇西安工业学院

作者

  • 1篇高爱华
  • 1篇刘卫国
  • 1篇张伟
  • 1篇周顺
  • 1篇李岗

传媒

  • 1篇液压与气动

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOCVD的气动控制回路设计被引量：2
2006年
介绍了MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)液态源金属有机物化学气相沉积设备,研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路,实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性,确保了工艺的重复性和稳定性。
高爱华刘卫国张伟周顺李岗
关键词：MOCVD气动控制气缸可编程控制器
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