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李岗
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西安工业学院光电工程学院
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相关领域:
机械工程
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合作作者
周顺
西安工业学院光电工程学院
张伟
西安工业学院光电工程学院
刘卫国
西安工业学院光电工程学院
高爱华
西安工业学院光电工程学院
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周顺
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李岗
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液压与气动
年份
1篇
2006
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MOCVD的气动控制回路设计
被引量:2
2006年
介绍了MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)液态源金属有机物化学气相沉积设备,研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路,实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性,确保了工艺的重复性和稳定性。
高爱华
刘卫国
张伟
周顺
李岗
关键词:
MOCVD
气动控制
气缸
可编程控制器
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