杨明鹏
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器被引量：3
- 2016年
- 该文提出一种柔性的微机电系统（MEMS）超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度（002）择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数（Q）值增加。
- 林荣辉孙翠敏尤晖张瑞杨明鹏李小军
- 关键词：压电式射频磁控溅射氧化锌薄膜
- 微芯片电泳研究进展及其在离子检测中的应用被引量：2
- 2018年
- 微芯片电泳具有检测迅速、易于便携化、消耗试剂少等优点,成为离子检测诸多手段中的热门方法。本文在介绍微芯片电泳原理的基础上,从微芯片电泳的结构、材料、制作工艺、表面改性、实验方法及其在离子检测中的应用等多个方面进行了综述,并对存在的问题以及未来的研究方向进行了总结和展望。
- 杨明鹏黄哲谢洋尤晖
- 关键词：微芯片电泳表面改性预浓缩
