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尤晖: 作品数：17 被引量：44H指数：4; 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金安徽省科技攻关计划国家重点基础研究发展计划更多>>; 相关领域：理学自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>

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一种基于厚膜工艺的高集成度FAIMS迁移管的研制被引量：6: 2012年; 基于厚膜工艺,研制了一种集成有进样接口、气路接口、温控元件和离子源固定装置等外围功能模块的高集成度FAIMS迁移管,阐述了其结构特征和制作方法。为验证其性能,搭建了相应的FAIMS外围检测平台,以丙酮和甲苯为样品进行实验,得到了它们的FAIMS谱图,并与基于MEMS工艺的非集成FAIMS迁移管所测得的丙酮和甲苯的谱图比较,证明了高集成度迁移管在功耗、漏电流、气密性、灵敏度、分辨率和稳定性等方面的优异性能,说明高集成度迁移管适合作为小型化FAIMS独立检测系统的核心器件。; 赵聪陈池来陈然王焕钦王电令刘友江高钧尤晖孔德义Juergen Brugger; 关键词：高集成度厚膜工艺

基于单光子探测的超声空化强度测量方法: 2015年; 针对目前超声空化强度检测存在的实时性差、难以实现在线监测、稳定性差、难以定量检测等问题,提出了一种基于单光子探测的超声空化强度检测方法。介绍和推导了该检测方法的基本原理,根据该原理构建了超声空化强度检测装置,并通过实验验证了超声空化强度与90度Mie散射光的光子计数值之间成线性关系。该方法弥补了现有检测方法的不足,为进一步更加准确地测量超声空化强度创造了有利的条件。; 王香君高钧杨义新尤晖; 关键词：超声空化单光子探测空化气泡光电检测

微阵列芯片点样微喷系统研制: 2018年; 介绍了一种非接触式点样微喷系统。该系统采用传统精密数控方法加工而成,具有精度高、价格低、易于清洗等特点。采用的阶梯型管道构型,解决了管道进样中可能存在的气泡问题,并且采用疏水化处理的工艺方法解决了液滴在微喷口下聚集的问题。实验结果表明,液滴的大小可以通过改变电磁铁的驱动电压来调节,微液滴尺寸最小可以达2 n L。此外,还采用了组合式微喷结构,使得该微喷系统便于组装、拆卸和清洗,可多次循环使用。是一种极具商业化前景的微喷系统。; 郑敏捷谢洋赵启焱尤晖; 关键词：微阵列芯片数控加工

新型非接触式微液滴点样喷头的研制被引量：3: 2017年; 微阵列芯片在基因检测等领域有着广泛的应用,制备微阵列芯片的的点样设备可分为接触式和非接触式两种,其中接触式点样需要频繁的清洗点样针头,非接触式点样设备则需要外界气泵或使用复杂的MEMS工艺制作。为了简化生物微阵列芯片制作过程中繁琐的取样、点样、清洗工作和降低点样仪器的成本,研制了一种新型的储液式微液滴点样装置,具有无需清洗、成本低、制作简便的优点。该装置采用压电陶瓷双晶片作为动力驱动,通过双晶片在液体中的振动激发出水击波,传递至喷孔处使喷孔液面发生振动,从而激发出微液滴滴落。研制的储液式微液滴点样装置可以容纳1 mL的液体试剂,可得到体积为1 nL的微液滴,可重复上万次的点样而不需清洗。以储液式微液滴点样装置为基础,进一步制作了点样仪样机。根据实验测量,储液式微液滴点样装置所产生微液滴的直径为200μm,可以满足生物微阵列芯片的制备要求。; 赵启焱尤晖郑敏捷黄哲; 关键词：压电陶瓷生物芯片

基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器被引量：3: 2016年; 该文提出一种柔性的微机电系统（MEMS）超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度（002）择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数（Q）值增加。; 林荣辉孙翠敏尤晖张瑞杨明鹏李小军; 关键词：压电式射频磁控溅射氧化锌薄膜

制备方法对钙钛矿薄膜结构及形貌的影响: 2018年; 采用液相连续沉积法制备了有机/无机杂化钙钛矿(CH_3NH_3PbI_3,MAPbI_3)光吸收层,并研究了不同薄膜形貌、晶体结构和光吸收能力对钙钛矿太阳能电池性能的影响。结果表明:制备工艺对吸光层形貌和器件光电性能产生很大的影响。相对于分步浸渍法,分步旋涂法(分步旋涂无机相碘化铅PbI_2和有机相甲胺碘CH_3NH_3I前驱液)和气体辅助修复法(新制初始MAPbI_3薄膜在室温下置于甲胺气氛中)能有效改善薄膜形貌和平整度,获得覆盖完全的均匀钙钛矿吸光层。同时,进一步分析了初始MAPbI_3膜的形貌对气体修复法制备全覆盖平整钙钛矿薄膜的影响,发现初始钙钛矿膜的形貌对最终修复后的膜层形貌没有影响,这可能是因为不同初始MAPbI_3膜经甲胺气体处理后均形成一种"甲胺铅化碘-甲胺"(MAPbI_3·MA)的液态中间相,再经退火处理后均获得平整、致密的钙钛矿膜层,极大地提高了MAPbI_3的结晶度和薄膜均匀性,从而提高活性层的吸光率、光电流和电池效率。; 韦慧汤洋尤晖; 关键词：钙钛矿微观形貌光电流

微穿孔板吸声体声学性能的仿真研究被引量：6: 2012年; 介绍微穿孔板吸声体的基本理论,通过MATLAB仿真深入分析了微穿孔板吸声体各参数对其吸声性能的影响特性,设计了基于LabVIEW、MATLAB的微穿孔板吸声体声学仿真设计平台,通过LabVIEW调用MATLAB Script节点可以方便、直观的根据具体工程应用背景要求设计所需要的微穿孔板吸声体结构,实现了LabVIEW、MATLAB的完美结合。实验证明该仿真设计平台使用方便、计算准确。; 孙文娟孔德义尤晖段秀华刘英钱玉洁赵湛; 关键词：微穿孔板仿真吸声特性

电容式微型加速度传感器的建模仿真及优化设计研究: MEMS的建模仿真对于缩短它的研制周期、降低成本、提高产品性能有着极为重要的意义。电容式微加速度传感器是一种典型的MEMS产品，有关它的建模、仿真和优化研究，对探索MEMS的建模仿真技术具有较大的参考价值。该文首先论述电...; 尤晖; 关键词：微电子机械系统 MEMS 建模仿真静电力; 文献传递

基于印制电路板的微流控芯片研究进展及应用被引量：4: 2019年; 微流控技术的商业化是其目前的主要研究内容之一。基于印制电路板(Printed circuit board,PCB)的微流控(Lab-on-PCB)工艺能够结合PCB工艺和发展成熟的聚合物微流控制造技术,构建低成本、标准化和批量化的制造平台,有效推进了微流控技术的商业化。本文针对近20年Lab-on-PCB的研究,通过对芯片典型结构的分析,重点从结构、材料和制作工艺等方面对Lab-on-PCB的研究进展进行综述,总结目前Lab-on-PCB的应用和商业化发展情况,并对该技术的不足、待解决的问题和未来发展方向进行了评述和展望。; 常永嘉尤晖; 关键词：印制电路板微流控芯片微全分析系统

超声悬浮气浮混合式悬浮的承载力特性研究被引量：4: 2013年; 为了确保在一定的振动幅度和精度的条件下提高气动悬浮的承载力,提出了一种采用超声悬浮气浮混合式悬浮方式来提高气动悬浮承载力的新方法。通过ANSYS软件对超声悬浮核心部件(压电换能器)进行优化设计加工,制作了混合式悬浮装置实验样机,并进行了悬浮能力的测试,得到的实验测试结果与理论计算结果相一致。优化后的圆盘压电换能器可悬浮起质量为3kg的物体,单位面积的悬浮质量可达59.7g/cm2。实验结果表明,该混合式悬浮装置的悬浮承载力大于超声悬浮与气动悬浮的承载力之和,当供气压力为0.2 MPa时,混合式悬浮承载力约等于2倍的超声悬浮承载力与气动悬浮承载力之和。因此,该混合式悬浮装置可大幅度地提高气浮支承的悬浮能力,并且不改变气浮支承的振动幅度和精度。; 刘家郡江海尤晖焦晓阳刘建芳杨志刚; 关键词：超声悬浮

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