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汪文明

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：暨南大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重点实验室开放基金广东省教育部产学研结合项目更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇柔性衬底
  • 1篇气压
  • 1篇自由梁
  • 1篇温度稳定性
  • 1篇斜梁
  • 1篇谐振器
  • 1篇溅射
  • 1篇ZNO
  • 1篇ZNO:AL
  • 1篇ZNO:AL...
  • 1篇氩
  • 1篇MEMS
  • 1篇衬底
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇暨南大学
  • 2篇浙江大学

作者

  • 2篇李姗
  • 2篇杨恢东
  • 2篇雷飞
  • 2篇汪文明
  • 1篇顾龙

传媒

  • 1篇材料导报
  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 2篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
斜梁结构高温度稳定性MEMS自由梁谐振器设计被引量：1
2014年
针对表面微加工MEMS谐振器由于温度改变引起的电气失效问题,采用一种高温度稳定性的斜梁支撑结构将温度变化引起的谐振器形变转化为水平位移,有效地避免了谐振梁与电极之间因材料热胀冷缩引起的电气失效和动态阻抗变化。在温度升高100°C的情况下,直梁支撑结构在垂直电极方向的位移为0.153μm,而文中所提出的斜梁支撑结构的位移为0.017μm;在提高温度稳定性的同时降低了由于电极间隙增大引起的谐振器动态阻抗变化,在0.3μm的初始间隙下,斜梁支撑结构的谐振器在温度升高100°C时的动态阻抗为直梁支撑谐振器的24%,损耗为-52dB,相比于传统直梁支撑结构的-61dB改善了9dB,有效地提升了MEMS谐振器的温度稳定性。
雷飞杨恢东李姗顾龙汪文明
关键词：谐振器温度稳定性
氩气压强对柔性衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响被引量：2
2014年
采用直流磁控溅射技术在柔性衬底聚酰亚胺（PI）上制备ZnO：Al透明导电薄膜，研究氩气压强对样品薄膜结构、形貌和光电性能的影响，并与玻璃衬底进行了对比。结果表明：所有制备的ZAO薄膜都是六方纤锌矿结构且具有高度的C轴择优取向；氩气压强对样品薄膜的性能有较大影响，具体表现在：随着压强的增大，晶粒尺寸先增大后减小，方块电阻值先减小后增大，最小值出现在压强为12Pa，其值为12Ω／sq，600-800nm薄膜的相对透射率为94％，高于玻璃衬底的相对透射率。
李姗杨恢东汪文明雷飞闵文骏
关键词：柔性衬底ZNO:AL薄膜直流磁控溅射
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