雷飞
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：暨南大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重点实验室开放基金广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 氩气压强对柔性衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响被引量：2
- 2014年
- 采用直流磁控溅射技术在柔性衬底聚酰亚胺（PI）上制备ZnO：Al透明导电薄膜，研究氩气压强对样品薄膜结构、形貌和光电性能的影响，并与玻璃衬底进行了对比。结果表明：所有制备的ZAO薄膜都是六方纤锌矿结构且具有高度的C轴择优取向；氩气压强对样品薄膜的性能有较大影响，具体表现在：随着压强的增大，晶粒尺寸先增大后减小，方块电阻值先减小后增大，最小值出现在压强为12Pa，其值为12Ω／sq，600-800nm薄膜的相对透射率为94％，高于玻璃衬底的相对透射率。
- 李姗杨恢东汪文明雷飞闵文骏
- 关键词：柔性衬底ZNO:AL薄膜直流磁控溅射
- 斜梁结构高温度稳定性MEMS自由梁谐振器设计被引量：1
- 2014年
- 针对表面微加工MEMS谐振器由于温度改变引起的电气失效问题,采用一种高温度稳定性的斜梁支撑结构将温度变化引起的谐振器形变转化为水平位移,有效地避免了谐振梁与电极之间因材料热胀冷缩引起的电气失效和动态阻抗变化。在温度升高100°C的情况下,直梁支撑结构在垂直电极方向的位移为0.153μm,而文中所提出的斜梁支撑结构的位移为0.017μm;在提高温度稳定性的同时降低了由于电极间隙增大引起的谐振器动态阻抗变化,在0.3μm的初始间隙下,斜梁支撑结构的谐振器在温度升高100°C时的动态阻抗为直梁支撑谐振器的24%,损耗为-52dB,相比于传统直梁支撑结构的-61dB改善了9dB,有效地提升了MEMS谐振器的温度稳定性。
- 雷飞杨恢东李姗顾龙汪文明
- 关键词：谐振器温度稳定性
- 衬底温度对不锈钢衬底上制备a-Si∶H薄膜特性的影响
- 2015年
- 非晶硅薄膜太阳电池因为光致衰退效应而影响了其使用和推广的范围,而通过甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备的氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H)可以在一定程度上改善光致衰退(SW)效应对电池效率的影响。不锈钢衬底具有可卷曲、耐高温、延展性好等优点。本文重点讨论了在不锈钢衬底上的非晶硅薄膜的生长速率、表面形貌、结构成分、光学带隙及光敏性等方面的影响,分析了影响的原因并找出最优制备条件。实验结果表明:在220~300℃的范围内,随着衬底温度的增加,薄膜的生长速率先增加后减小,薄膜的非晶化程度逐渐降低。合适的衬底温度应控制在220~240℃的范围,此时可以获得1.84eV左右的光学带隙和103量级的光敏性。
- 杨恢东雷飞李姗王河深
- 关键词：衬底温度
