孟超
- 作品数：4 被引量：16H指数：3
- 供职机构：西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术医药卫生更多>>
- 基于MEMS技术的植入式颅内压力监测传感器的研究
- 颅内压在神经外科的临床和科研中是一项十分重要的观察指标,对颅内压力进行动态监测并根据监测结果采取针对性措施对避免脑损害至关重要。本文提出了一种适用于对颅脑病人颅内压力进行长期实时监测的植入式颅内压力监测传感器,其结构包括...
- 王新波赵玉龙蒋庄德王珏孟超孙建
- 关键词：传感器颅内压封装
- 基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究被引量：7
- 2008年
- 针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。
- 刘元浩赵立波赵玉龙蒋庄德田边孟超
- 关键词：有限元分析
- MEMS耐高温压力传感器封装工艺被引量：4
- 2009年
- MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度。文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨胀时所产生的附加压力,提高传感器的工作灵敏度与稳定性。
- 孟超赵玉龙赵立波王新波刘元浩
- 关键词：MEMS耐高温压力传感器封装热膨胀
- 新型非硅薄膜网格压力传感器的研究被引量：5
- 2008年
- 针对偏瘫病患者身体接触面间的压力分布检测,提出并研发了一种基于压阻效应的新型非硅薄膜网格压力传感器。它利用实心柱式压力传感器检测原理,通过丝网印刷工艺制作而成,具有准确、快速、高效、直观、超薄、耐用、可重复使用等特点;总测量厚度为0.32mm。制品测试分析表明该传感器能够快速直观地检测出接触面间的压力分布。同时,新型非硅薄膜网格压力传感器也为生物医疗、康复和汽车等领域提供了新的研究手段。
- 周高峰赵玉龙蒋庄德孟超
- 关键词：压阻效应电极丝网印刷
