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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇设计规则检查
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇凸角补偿
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化钾
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片设计
  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇
  • 1篇层次化

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇李湘君
  • 1篇周刚
  • 1篇杨玉飞
  • 1篇李倩
  • 1篇王宇
  • 1篇崔鑫

传媒

  • 2篇微处理机

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
硅各向异性腐蚀技术研究被引量:3
2012年
针对两种补偿结构探讨了硅的凸角腐蚀补偿原理,设计了补偿版图,并在KOH腐蚀液中进行实验验证,获得了好的直角凸面补偿效果。
李倩崔鑫李湘君
关键词:氢氧化钾湿法腐蚀凸角补偿
千万门级芯片设计中calibre的应用被引量:1
2011年
随着集成电路不断发展,集成电路规模逐渐增大,百万、千万门级的集成电路越来越常见。在这些大规模的设计中,如何保证版图和逻辑设计的一致性成为必须要解决的问题。利用业界先进的物理验证软件calibre可以保证设计的正确实现。
李湘君王宇杨玉飞周刚
关键词:设计规则检查层次化
共1页<1>
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