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史明甫

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇微流控
  • 1篇微流控芯片
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机械系统

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 2篇史明甫
  • 1篇李铁
  • 1篇焦继伟
  • 1篇包晓清
  • 1篇杨恒
  • 1篇王跃林
  • 1篇冯飞

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术被引量：1
2006年
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道阵列。在两种不同的离子束刻蚀条件下,在2μm图形内分别制备出单纳米沟道和双纳米沟道,最小宽度可达440nm.
史明甫焦继伟包晓清冯飞杨恒李铁王跃林
关键词：离子束刻蚀
一种新颖的纳米沟道制造技术研究及其应用
微沟道是生物化学、微纳流体行为研究、纳米光学、生物医学等方面研究的重要载体，是微控流芯片(Microfluidic Chip)的核心部分，也是纳米制造工艺研究的主要对象之一。本文以微控流芯片中的微流体流动特性和纳米管道制...
史明甫
关键词：微流控芯片
文献传递
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