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谢昕

作品数：6 被引量：12H指数：2
供职机构：广东工业大学更多>>
发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金广州市科技计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 6篇蓝宝
  • 6篇蓝宝石
  • 6篇激光
  • 5篇抛光
  • 4篇抛光表面
  • 4篇晶片
  • 4篇蓝宝石晶片
  • 3篇抛光装置
  • 3篇激光光束
  • 3篇工作台
  • 3篇光束
  • 1篇短波长
  • 1篇抛光技术
  • 1篇晶体
  • 1篇蓝宝石晶体
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇激光辐射
  • 1篇激光加工
  • 1篇工艺方法

机构

  • 6篇广东工业大学

作者

  • 6篇谢昕
  • 5篇魏昕
  • 5篇郭晓艳
  • 4篇胡伟
  • 4篇谢小柱
  • 4篇黄加福

传媒

  • 1篇机电工程技术

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
蓝宝石的抛光装置
本实用新型是一种蓝宝石的抛光装置。包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件，其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机，连接件固定在工作台上，支撑板装设在连接件上，待抛光的蓝宝石晶片固定在...
魏昕谢小柱胡伟郭晓艳谢昕黄加福
文献传递
蓝宝石的抛光装置及其抛光方法
本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件，其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机，连接件固定在工作台上，支撑板装设在连接件上，待...
魏昕谢小柱胡伟郭晓艳谢昕黄加福
文献传递
蓝宝石抛光技术的研究进展被引量：7
2006年
本文介绍目前蓝宝石晶体主要的抛光方法,包括机械抛光、化学抛光、化学机械抛光、激光抛光等,并对它们的工作原理、特点作了分析和总结,特别对最近出现的一种新的抛光技术——激光抛光技术作了详细的介绍。
郭晓艳魏昕谢昕
关键词：蓝宝石化学机械抛光
绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法
本发明是一种绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法。包括如下步骤：1)用绿光激光扫描抛光蓝宝石晶片的表面；2)再用紫外光激光抛光绿光激光抛光过的蓝宝石晶片表面。上述绿光激光和紫外光激光为脉冲式激光。本发明由于采用先用绿...
魏昕谢小柱胡伟郭晓艳谢昕黄加福
文献传递
短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究
蓝宝石单晶体是重要的光学元件、半导体衬底材料，广泛应用于工业、国防和科研等领域。但是蓝宝石硬度高、化学稳定性好，难以用机械化学抛光等接触式方法抛光。因此激光抛光是有望代替接触式抛光蓝宝石的抛光方法之一。 本文作...
谢昕
关键词：蓝宝石晶体激光加工
文献传递
蓝宝石的抛光装置及其抛光方法
本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件，其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机，连接件固定在工作台上，支撑板装设在连接件上，待...
魏昕谢小柱胡伟郭晓艳谢昕黄加福
文献传递
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