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谢昕
作品数:
6
被引量:12
H指数:2
供职机构:
广东工业大学
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发文基金:
广东省科技计划工业攻关项目
国家自然科学基金
广州市科技计划项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郭晓艳
广东工业大学
魏昕
广东工业大学
黄加福
广东工业大学
谢小柱
广东工业大学
胡伟
广东工业大学
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工艺方法
机构
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广东工业大学
作者
6篇
谢昕
5篇
魏昕
5篇
郭晓艳
4篇
胡伟
4篇
谢小柱
4篇
黄加福
传媒
1篇
机电工程技术
年份
1篇
2011
1篇
2010
2篇
2009
1篇
2007
1篇
2006
共
6
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蓝宝石的抛光装置
本实用新型是一种蓝宝石的抛光装置。包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件,其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机,连接件固定在工作台上,支撑板装设在连接件上,待抛光的蓝宝石晶片固定在...
魏昕
谢小柱
胡伟
郭晓艳
谢昕
黄加福
文献传递
蓝宝石的抛光装置及其抛光方法
本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件,其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机,连接件固定在工作台上,支撑板装设在连接件上,待...
魏昕
谢小柱
胡伟
郭晓艳
谢昕
黄加福
文献传递
蓝宝石抛光技术的研究进展
被引量:7
2006年
本文介绍目前蓝宝石晶体主要的抛光方法,包括机械抛光、化学抛光、化学机械抛光、激光抛光等,并对它们的工作原理、特点作了分析和总结,特别对最近出现的一种新的抛光技术——激光抛光技术作了详细的介绍。
郭晓艳
魏昕
谢昕
关键词:
蓝宝石
化学机械抛光
绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法
本发明是一种绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法。包括如下步骤:1)用绿光激光扫描抛光蓝宝石晶片的表面;2)再用紫外光激光抛光绿光激光抛光过的蓝宝石晶片表面。上述绿光激光和紫外光激光为脉冲式激光。本发明由于采用先用绿...
魏昕
谢小柱
胡伟
郭晓艳
谢昕
黄加福
文献传递
短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究
蓝宝石单晶体是重要的光学元件、半导体衬底材料,广泛应用于工业、国防和科研等领域。但是蓝宝石硬度高、化学稳定性好,难以用机械化学抛光等接触式方法抛光。因此激光抛光是有望代替接触式抛光蓝宝石的抛光方法之一。 本文作...
谢昕
关键词:
蓝宝石晶体
激光加工
文献传递
蓝宝石的抛光装置及其抛光方法
本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件,其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机,连接件固定在工作台上,支撑板装设在连接件上,待...
魏昕
谢小柱
胡伟
郭晓艳
谢昕
黄加福
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