谢小柱
- 作品数：196 被引量：489H指数：11
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- 相关领域：金属学及工艺电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种平板热管复合沟槽式吸液芯及其制备方法
- 本发明提出了一种平板热管复合沟槽式吸液芯并公开了其制备方法，包括表面加工有复合沟槽毛细结构的金属基板。所述复合沟槽毛细结构由主沟槽和次沟槽组成；所述主沟槽由聚焦激光在金属基板表面刻蚀形成；所述次沟槽由相邻主沟槽表面之间的...
- 杨旸魏昕谢小柱胡伟吴亚平
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- 化学机械抛光中抛光垫表面沟槽的研究被引量：10
- 2008年
- 抛光垫表面沟槽是决定抛光垫性能的重要因素之一。介绍了抛光垫表面沟槽的形状、尺寸和倾斜角度等因素对抛光过程的影响规律,认为:负螺旋对数型沟槽抛光垫的性能最佳,沟槽的深度和宽度会影响加工区域抛光液的平均驻留时间、混和效率及成分,沟槽的倾斜角度也会影响抛光效率,-20°倾斜角抛光垫的抛光效率最高。
- 胡伟魏昕谢小柱
- 关键词：化学机械抛光抛光垫沟槽
- 新型平板均热管
- 本实用新型提出了一种新型平板均热管，包括一个上板、一个下板和注液抽气管，所有组件均为紫铜材料，该平板热管下板为蒸发段、上板为冷凝段、中间段为绝热段，上下板内壁加工有沟槽结构，沟槽结构由热管工作原理加工成沟槽式复合针翅结构...
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- 一种限制层作用下的纳米石墨颗粒的激光连续制备方法
- 本发明提供了一种限制层作用下的纳米石墨颗粒的激光连续制备方法，其步骤如下：1)将石墨片靶材置于工作台上；2)将限制层贴合放置在石墨片上方；3)将脉冲激光聚焦在石墨靶材与限制层的交界面处，对石墨靶材进行扫描填充烧蚀；4)在...
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- 一种玻璃微流道的激光复合加工装置
- 本实用新型是一种玻璃微流道的激光复合加工装置，加工装置主要包括：切割头透镜组、侧轴进气口、可控移动平台、激光清洗光束整形系统、X/Y扫描振镜、聚焦镜、背刻初步成形样件、激光清洗夹具。整套加工装置由激光背刻和激光清洗两大模...
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- 中低功率CO_2激光切割非金属板材被引量：5
- 2005年
- 介绍了CO2激光汽化切割非金属板材的机理,建立了理论模型,并根据材料的性质和切割速度预测切割深度。实验数据表明,该模型适合激光切割6mm以下的薄板。根据该模型可预测小功率激光切割非金属材料的能力,为提高切割速度,提出预热辅助气体的切割方法。
- 谢小柱李力钧方石银刘继常鄢锉张屹
- 关键词：辅助气体非金属CO2激光汽化切割
- 一种新型平板热管及其制造方法
- 本发明公开了一种凸型沟槽式平板热管及其制造方法，凸型沟槽式热管注入蒸馏水作为工作液体；所述凸型沟槽式平板热管由上下两块铜基板、中间铜金属边框组成；所述凸型沟槽式平板热管的一端为蒸发段、另一端为冷凝段；所述凸型沟槽式平板热...
- 李成彬魏昕谢小柱胡伟杨旸
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- 一种自动生产线的激光黑色打标方法
- 本发明公开了一种自动生产线的激光黑色打标方法，包括如下步骤：1)上料传送带移动一个步长，将样件移至偏转装置上，通过定位边使样件固定在合适位置，2)样件与石墨片紧密接触，激光束聚焦在石墨片与样件的交界面处，进行背刻打标，实...
- 谢小柱江伟魏昕胡伟翁清
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- CMP抛光半导体晶片中抛光液的研究被引量：24
- 2006年
- 本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性抛光液常用于抛光非金属材料,pH最优值为10～11.5;氧化剂能有效提高金属材料的抛光效率和表面平整度;磨料的种类、浓度及尺寸会影响抛光效果;分散剂有助于保持抛光液的稳定性;抛光初始阶段宜采用较低流速,然后逐渐提高;抛光液的粘性会影响晶片与抛光垫之间的接触模式、抛光液的均布、流动及加工表面的化学反应;抛光液温度的升高有助于提高抛光效率.最后本文指出了抛光液循环使用的重要意义及常用方法.
- 胡伟魏昕谢小柱向北平
- 关键词：化学机械抛光抛光液
- CO_2激光切割非金属材料理论模型被引量：6
- 2008年
- 基于能量平衡方程，考虑高斯光束分布，建立了CO2激光切割高吸收率非金属材料的解析模型。理论分析和试验结果表明切割深度随着切割速度的减小而增加，随着激光功率的增加而增大。该模型适合12mm以下薄板切割和12～20mm较厚板的大功率（〉400W）高速（〉1．0m／min）切割。经过模型修正后，也可适合厚板（〉20mm）切割。
- 谢小柱魏昕胡伟
- 关键词：激光技术CO2激光切割非金属材料
