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刘春艳

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

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  • 1篇压力敏感芯片
  • 1篇芯片
  • 1篇力传感器
  • 1篇厚膜
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇高理升
  • 1篇常慧敏
  • 1篇王英先
  • 1篇周平
  • 1篇徐智晴
  • 1篇刘春艳

传媒

  • 1篇传感器世界

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
厚膜电容式压力传感器被引量：2
2009年
介绍一种厚膜电容式压力传感器,它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极,电极材料为钯银导体,传感器包括压力敏感芯片和电容—电压转换电路,该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷。传感器量程为0～200kPa,电容值20pF,非线性0.3%,工作温度-20～+85℃,零点温漂小于200ppm/℃。具有易于批量生产、性能/价格比高等技术优势。
常慧敏周平高理升王英先徐智晴刘春艳
关键词：厚膜电容式压力敏感芯片
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共1页<1>
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